一种基于激光干涉的球杆测量装置及其测量方法.pdf
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一种基于激光干涉的球杆测量装置及其测量方法.pdf
本发明公开了一种基于激光干涉的球杆测量装置及其测量方法,这种基于激光干涉的球杆测量装置,包括一可水平旋转的旋转底盘,旋转底盘的上端通过殷钢杆固定有一光学精密球,光学精密球连接有球杆支撑架,球杆支撑架固定连接有光学盒子,光学盒子的外侧固定连接有一伸缩筒,伸缩筒的伸缩末端筒内设有一测量角锥棱镜,且伸缩筒的伸缩末端于测量角锥棱镜的后侧固定连接有精密标准球。本发明通过伸缩筒的配置增大了测量范围,为较大型具有运动坐标系统的机床的精度校验提供了有效的技术手段,另外本发明可以在短时间内求取多项误差的分量,节省时间,并且
一种激光干涉转子测振装置及其测量方法.pdf
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基于线激光的轮廓测量装置及其轮廓测量方法.pdf
本发明公开了一种基于线光源的轮廓测量装置,其包括载物平台、图像采集终端、控制处理终端、至少一第一线光源以及至少一第二线光源。载物平台上设有测量区域,被测物体置于测量区域内。第一线光源和第二线光源分别用于向被测物体投射第一光源线和第二光源线,且第一线光源沿第二光源线的方向排列,第二线光源沿第一光源线的方向排列。图像采集终端用于采集第一线光源和第二线光源投射在被测物体上的投影图像,且第一线光源和第二线光源与图像采集终端的光轴之间分别具有第一预设角度和第二预设角度。控制处理终端用于根据第一线光源和第二线光源与图
基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置.pdf
基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域;发明方法采用了两束具有不同频率的空间分离平行光,两平行光束在非偏振分光棱镜上的入射点位于入射面的对角线上,并关于入射面的中心点对称,并采用直角棱镜作为参考棱镜和测量棱镜;该方法最终产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号来进行干涉测量;本发明方法及装置消除了干涉仪中的频率混叠现象,提高了外差干涉测量的测量精度,同时将外差干涉测量的分辨率提高了一倍。
基于角锥棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置.pdf
基于角锥棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域;发明方法采用了两束具有不同频率的空间分离平行光,两平行光束在非偏振分光棱镜上的入射点位于入射面的对角线上,并关于入射面的中心点对称,并采用角锥棱镜作为参考棱镜和测量棱镜;该方法最终产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号来进行干涉测量;本发明方法及装置对被测目标的倾斜不敏感,消除了干涉仪中的频率混叠现象,提高了外差干涉测量的测量精度,同时将外差干涉测量的分辨率提高了一倍。