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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106158711A(43)申请公布日2016.11.23(21)申请号201610765644.9(22)申请日2016.08.30(71)申请人天津中环半导体股份有限公司地址300384天津市滨海新区高新区新技术产业园区华苑产业区(环外)海泰东路12号(72)发明人张学强靳立辉杨明崔振强赵晓光侯景洋高翔(74)专利代理机构天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211代理人陈雅洁(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/677(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种脱胶机自动下料装置(57)摘要本发明提供了一种脱胶机自动下料装置,包括支撑架,所述支撑架上设置有横向线性模组,所述横向线性模组的滑块与纵向线性模组相连,所述纵向线性模组的滑块上连接有安装架,所述安装架上安装有机械手;所述支撑架下方设置有输送线A,所述输送线A处设置有传感器,所述输送线A一端设置有输送线B,所述输送线A另一端设置有输送线C;所述输送线B的外侧设置有料座AGV小车,所述输送线C的外侧设置有治具AGV小车。本发明所述的脱胶机自动下料装置结构设计合理,机械手可同时兼具料座和治具的抓取,无需更换工装,输送线可实现料座和治具的自动分离,实现物料自动搬运,可实现一人操作多台下料装置,有效提高了生产效率。CN106158711ACN106158711A权利要求书1/1页1.一种脱胶机自动下料装置,其特征在于:包括支撑架(1),所述支撑架(1)上设置有横向线性模组(2),所述横向线性模组(2)的滑块A与纵向线性模组(3)相连,所述纵向线性模组(3)的滑块B上连接有安装架(4),所述安装架(4)上安装有机械手(5),所述滑块A可沿所述横向线性模组(2)的滑槽横向滑动,所述滑块B可沿所述纵向线性模组(3)的滑槽纵向滑动;所述支撑架(1)下方设置有输送线A(6),所述输送线A(6)由电机A驱动,所述输送线A(6)处设置有传感器,所述输送线A(6)一端设置有输送线B(7),所述输送线B(7)由电机B驱动,所述输送线A(6)另一端设置有输送线C(11),所述输送线C(11)由电机C驱动;所述输送线B(7)的外侧设置有料座AGV小车(8),所述料座AGV小车(8)上端设置有料座输送装置(9),所述料座输送装置(9)与输送线B(7)对接,所述输送线C(11)的外侧设置有治具AGV小车(12),所述治具AGV小车(12)上端设置有治具输送装置(13),所述治具输送装置(13)与所述输送线C(11)对接。2.根据权利要求1所述的脱胶机自动下料装置,其特征在于:所述支撑架(1)呈倒置的U形,所述支撑架(1)架设在所述输送线A(6)的上方。3.根据权利要求1或2所述的脱胶机自动下料装置,其特征在于:所述料座输送装置(9)和治具输送装置(13)均为滚筒输送。2CN106158711A说明书1/3页一种脱胶机自动下料装置技术领域[0001]本发明属于半导体制造技术领域,尤其是涉及一种脱胶机自动下料装置。背景技术[0002]太阳能硅片脱胶工艺中的下料方式,目前都是采用人工完成线切料座(两种规格)、脱胶治具两种物料的下料,由于线切料座,脱胶治具重量较重,操作工的劳动强度很大,且工作效率不高,这就需要设计一种自动下料装置替代人工。发明内容[0003]有鉴于此,本发明旨在提出一种脱胶机自动下料装置,以解决料座和脱胶治具人工下料时劳动强度大及工作效率低的问题。[0004]为达到上述目的,本发明的技术方案是这样实现的:[0005]一种脱胶机自动下料装置,包括支撑架,所述支撑架上设置有横向线性模组,所述横向线性模组的滑块A与纵向线性模组相连,所述纵向线性模组的滑块B上连接有安装架,所述安装架上安装有机械手,所述滑块A可沿所述横向线性模组的滑槽横向滑动,所述滑块B可沿所述纵向线性模组的滑槽纵向滑动;[0006]所述支撑架下方设置有输送线A,所述输送线A由电机A驱动,所述输送线A处设置有传感器,所述输送线A一端设置有输送线B,所述输送线B由电机B驱动,所述输送线A另一端设置有输送线C,所述输送线C由电机C驱动;[0007]所述输送线B的外侧设置有料座AGV小车,所述料座AGV小车上端设置有料座输送装置,所述料座输送装置与输送线B对接,所述输送线C的外侧设置有治具AGV小车,所述治具AGV小车上端设置有治具输送装置,所述治具输送装置与所述输送线C对接。[0008]进一步的,所述支撑架呈倒置的U形,所述支撑架架设在所述输送线A的上方。[0009]进一步的,所述料座输送装置和治具输送装置均为滚筒输送。[0010]相对于现有技术,本发明所述的脱胶机