一种晶圆清洗方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115954262A(43)申请公布日2023.04.11(21)申请号202211428996.7(22)申请日2022.01.30(62)分案原申请数据202210120127.12022.01.30(71)申请人江苏亚电科技有限公司地址225500江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号(72)发明人钱诚童建李刚(74)专利代理机构北京商专润文专利代理事务所(普通合伙)11317专利代理师陈平(51)Int.Cl.H01L21/02(2006.01)H01L21/67(2006.01)H01L21/687(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种晶圆清洗方法(57)摘要本发明涉及一种晶圆清洗方法，使用的晶圆清洗装置包括清洗装置本体，其所述清洗装置本体的顶部设置有上框组件，所述上框的内部设置有清理机构，所述清洗装置本体的内部设置有调整机构，所述上框组件包括有立式电机，所述立式电机的输出轴通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至上框内部的立轴，所述立轴的外表面固定安装有旋转盘，所述旋转盘的底部固定安装有气缸，所述清理机构包括有清理盘，所述清理盘的顶部与气缸的底部固定安装。该晶圆清洗装置及清洗系统，通过设置有上框组件，通过立式电机和气缸的设置，使得清理机构具备旋转和上下移动的功能，进而达到对晶圆进行高效清刷的目的。CN115954262ACN115954262A权利要求书1/2页1.一种晶圆清洗方法，使用晶圆清洗装置，其特征在于：使用的晶圆清洗装置，包括清洗装置本体(1)，所述清洗装置本体(1)的顶部设置有上框组件(2)，所述上框(2)的内部设置有清理机构(7)，所述清洗装置本体(1)的内部设置有调整机构(8)；所述上框组件(2)包括有立式电机(3)，所述立式电机(3)的输出轴通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至上框(2)内部的立轴(4)，所述立轴(4)的外表面固定安装有旋转盘(5)，所述旋转盘(5)的底部固定安装有气缸(6)；所述调整机构(8)包括有贴边仓(81)，所述贴边仓(81)的外表面与清洗装置本体(1)的内壁固定安装，所述贴边仓(81)的内壁与清洗装置本体(1)的内壁之间活动安装有活动盘(82)，所述活动盘(82)的左侧活动安装有一端贯穿并延伸至清洗装置本体(1)外部的安装杆(83)，所述安装杆(83)的左侧固定安装有摇盘(84)，所述摇盘(84)的左侧设置有锁把组件(85)，所述清洗装置本体(1)的内部活动安装有两个轴杆(86)，右侧所述轴杆(86)的右侧与清洗装置本体(1)的内腔右侧壁活动安装，左侧所述轴杆(86)的左侧与活动盘(82)的右侧固定连接，两个所述轴杆(86)的外表面均活动安装有尺板(87)，两个所述尺板(87)的相对一侧均固定安装有尺寸盘(89)，两个所述尺板(87)的内腔相背一侧分别与两个轴杆(86)的相对一侧之间固定安装有电动推杆(88)；所述方法包括以下步骤：1)将晶圆放置清洗装置本体(1)的内部，通过启动电动推杆(88)利用尺寸盘(89)将晶圆进行固定；2)将晶圆固定好后，再将立式电机(3)启动，则立式电机(3)带动清理机构(7)进行清扫任务，从而对晶圆的背面进行清扫；3)晶圆清扫后的垃圾通过收集仓(9)进行存储，而风机(10)还可同时对晶圆进行烘吹；4)通过操作调节机构(8)，可将晶圆进行翻面处理，进而对晶圆的翻面进行清理，清理步骤则将步骤2)和步骤3)重复操作即可；5)清理结束后，打开清洗装置本体(1)正面设置的活动门，将清理好的晶圆取出即可。2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗方法，其特征在于：2)步骤中，启动立式电机，立式电机(3)的输出轴通过联轴器带动立轴(4)转动，则旋转盘(5)旋转，带动气缸(6)进行环绕清扫，启动气缸(6)，气缸(6)调节刷板(72)的上下，当刷板(72)与晶圆相接触时，可将气缸(6)停止，进而进行清扫。3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗方法，其特征在于：刷板(72)使用时间过久后，需要更换，即可将外接的抵杆插入卡栓(75)内部设置的卡栓槽内部，则插杆对栓头(7603)进行挤压，使得栓头(7603)被挤压出卡栓(75)的外部，再将卡栓(75)旋转，通过螺纹连接的方式，进而将卡栓(75)拧出清理盘(71)的外部，再将清理盘(71)与刷板(72)脱离，完成刷板(71)的拆卸。4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗方法，其特征在于：对不同尺寸大小的晶圆进行夹持时，先将晶圆放置清洗装置本体(1)的内部，此时尺寸盘(89)相远离，则启动电动推杆(88)带动尺寸盘(89)向相对一侧靠近，直至将晶圆进行固定。5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗方法，其特征在于：所述清洗装置本体(1)的