内容提供者
一种基板及反应腔体结构.pdf
2023-06-02
10金币
720KB
11页
努力****向丝
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共11页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
一种基板及反应腔体结构.pdf
本发明涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种基板及反应腔体结构。本发明提供的一种基板，所述基板呈圆柱体，所述基板的一个面为热吸收面，在所述基板的热吸收面上开设有贯通所述基板的圆孔，所述圆孔与所述基板同轴设置，所述热吸热面上开设有多个孔体，所述孔体为小圆孔，所述小圆孔均匀设置，在所述热吸收面上具有多个与所述基板同心的同心圆，每个所述同心圆上均匀排布有多个所述圆孔。这样由加热盘辐射到基板的热量一部分经过基板顶面多次吸收和反射，另一部分热量经过孔体全部吸收并通过热传导提升基板整体温度，提高了腔室的保温效果，大大降
2023-06-02
10
720KB
一种双层反应腔体结构.pdf
本发明涉及半导体和太阳能光伏电池技术领域，具体涉及一种双层反应腔体结构，旨在解决现有技术中反应腔使用寿命受限形成的问题，其技术要点在于：包括内层腔体及外层腔体，所述内层腔体与所述外层腔体同轴设置，并且长度相等，所述内层腔体位于所述外层腔体内侧，所述外层腔体长度方向两端分别设置有炉口法兰及炉尾法兰，用于固定所述内层腔体及外层腔体。通过内外两层腔体的设置，使得外层腔体用于抽真空承受压力，所述内层腔体用于承接薄膜生长，不承受真空压力，使用过程中，外层腔体无镀膜层的影响，内层腔体不承受真空压力，可以有效地提升双层
2023-06-16
10
364KB
一种可变腔体微波反应腔结构.pdf
本发明公开了一种可变腔体微波反应腔结构，由十字形腔体、步进电机、馈口、炉门、活动腔壁、连杆组成，所述活动腔壁位于十字形腔体的四个腔体凸槽内，炉门与馈口分别位于前后两面。利用活动腔壁的移动构成电磁场的时变边界条件，在适当范围内以适当规律和周期连续移动活动腔壁，从而形成能够随时间明显变化的电磁场边界条件，进而迫使在加热腔内的电磁场分布随边界条件的变化而变化，最终在空间和时间的积累上形成均匀的微波能量场分布，达到均匀加热的效果。
2023-06-15
10
372KB
一种大尺寸内埋腔体结构LTCC基板的制造方法.pdf
本发明公开了一种大尺寸内埋腔体结构LTCC基板的制造方法，属于微机械结构制造技术领域。其包括冲孔、冲腔、HTCC辅助层制作，盲腔复合生坯制作、腔体顶层复合生坯制作、层压、烧结等步骤。该方法利用HTCC辅助层在低温烧结过程中不软化、不塌陷的特点，给予腔体顶层一定的支撑作用。采用本发明，不需要在腔体内添加牺牲层材料，不需要调节烧结曲线和层压参数，方法操作简单、耗时少、效率高，尤其是对于大尺寸内埋腔体可以获得非常好的腔体平整性。
2023-06-27
10
510KB
一种双面多台阶腔体的LTCC基板制造方法.pdf
本发明公开了一种双面多台阶腔体的LTCC基板制造方法，包括如下步骤；1.对生瓷片进行预烘干、打孔开腔、填孔、导体印刷和金属导体烘干处理；2.将生瓷片进行脱膜处理；3.叠片处理，将生瓷片进行叠加作为基板，基板上下表面腔体从表面向中心面积依次减小，并通过未开腔的生瓷片进行隔离；基板顶底各放置有金属片成为整体，作为生瓷坯；4.将生瓷坯进行真空包封；5.将真空包封好的生瓷坯进行等静压层压；6.完成等静压层压后，将基板取出，再对基板进行热切，切割出需要的图形及尺寸，去除多余的角料，并切割出填充块；7.将填充块放置在
2023-06-17
10
449KB