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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115954314A(43)申请公布日2023.04.11(21)申请号202310215807.6(22)申请日2023.03.08(71)申请人四川富乐华半导体科技有限公司地址641000四川省内江市内江经济技术开发区汉晨路888号8幢(72)发明人朱锐李炎马敬伟董明锋(74)专利代理机构北京华际知识产权代理有限公司11676专利代理师张强(51)Int.Cl.H01L21/683(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图5页(54)发明名称一种陶瓷覆铜基板的压平治具(57)摘要本发明公开了一种陶瓷覆铜基板的压平治具,涉及陶瓷覆铜基板生产领域,旨在解决陶瓷覆铜基板翘曲的技术问题,其技术方案要点是:一种陶瓷覆铜基板的压平治具,包括用于吸附陶瓷覆铜基板的真空负压平台,所述真空负压平台的上方设置有通过伺服直线机构竖直调高的支撑座,所述支撑座的两侧对称设置有承载架,两侧所述承载架的底部分别固定有若干个缓冲器,若干个所述缓冲器的底部分别固定有橡胶压垫。本陶瓷覆铜基板的压平治具在应用时,具有良好的压平防翘曲效果。CN115954314ACN115954314A权利要求书1/1页1.一种陶瓷覆铜基板的压平治具,包括用于吸附陶瓷覆铜基板的真空负压平台(1),其特征在于:所述真空负压平台(1)的上方设置有通过伺服直线机构(2)竖直调高的支撑座(3),所述支撑座(3)的两侧对称设置有承载架(4),两侧所述承载架(4)的底部分别固定有若干个缓冲器(5),若干个所述缓冲器(5)的底部分别固定有橡胶压垫(51)。2.根据权利要求1所述的一种陶瓷覆铜基板的压平治具,其特征在于:所述支撑座(3)的底部固定有固定架(6),所述固定架(6)上对称设置有两组滑动座(61),两组所述滑动座(61)的两侧分别转动连接有压辊(62)。3.根据权利要求2所述的一种陶瓷覆铜基板的压平治具,其特征在于:所述滑动座(61)由动力机构(7)带动调整位置,所述动力机构(7)包括伺服电机(76)、双向丝杠(71)、螺纹筒(72)、插销杆(73)、蜗杆部(74)、蜗轮部(75)和牵引弹簧(79),所述伺服电机(76)固定在固定架(6)上,所述双向丝杠(71)通过轴承水平转动连接在固定架(6)中,所述螺纹筒(72)通过轴承竖直转动连接在固定架(6)上,两组所述滑动座(61)分别螺纹连接在双向丝杠(71)的外部,所述插销杆(73)螺纹连接在螺纹筒(72)中,所述插销杆(73)的一端插接在承载架(4)和支撑座(3)内,所述蜗杆部(74)固定在双向丝杠(71)的外部,所述蜗轮部(75)固定在螺纹筒(72)的外部,所述蜗杆部(74)和蜗轮部(75)之间相互啮合,所述牵引弹簧(79)连接在两个承载架(4)之间。4.根据权利要求3所述的一种陶瓷覆铜基板的压平治具,其特征在于:所述伺服电机(76)的电机轴端部固定有第一齿轮(77),所述双向丝杠(71)的外部固定有第二齿轮(78),所述第一齿轮(77)与第二齿轮(78)之间相互啮合。5.根据权利要求3所述的一种陶瓷覆铜基板的压平治具,其特征在于:所述支撑座(3)的底部开设有导向槽(42),两侧所述承载架(4)的顶部分别固定有导向块(41),所述导向块(41)水平滑动连接在导向槽(42)中。6.根据权利要求5所述的一种陶瓷覆铜基板的压平治具,其特征在于:所述导向槽(42)和所述导向块(41)的截面分别为梯形。7.根据权利要求1所述的一种陶瓷覆铜基板的压平治具,其特征在于:所述支撑座(3)的两侧对称固定有辅助架(8),两个所述辅助架(8)的底部分别固定有两个产品托架(81),所述真空负压平台(1)中开设有四个供产品托架(81)卡入的凹槽(82)。8.根据权利要求1所述的一种陶瓷覆铜基板的压平治具,其特征在于:所述缓冲器(5)的数目为六个,所述橡胶压垫(51)为氯丁橡胶块,所述橡胶压垫(51)螺纹连接在缓冲器(5)的底部。2CN115954314A说明书1/4页一种陶瓷覆铜基板的压平治具技术领域[0001]本发明涉及陶瓷覆铜基板生产设备领域,更具体地说,它涉及一种陶瓷覆铜基板的压平治具。背景技术[0002]陶瓷覆铜基板产品(DCB/AMB/DPC/DBA)在气氛或真空烧结后优于铜瓷搭配的差异的问题,会出现扭曲,扭曲最高点可达2mm以上,超过激光切割焦深(一般激光焦深1mm左右),在切割过程中出现离焦现象,从而导致切割深度不一,分片时造成破损。传统方式切割固定方式为单纯的真空吸附固定产品,无论是人手动放还是机械手放时,都只是将产品放至台面。[0003]现有公开号为CN101958230B的中国专利,其公开了一种压板治具,治具框架由一对连接边框、一对压板