一种气相沉积装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108425099A(43)申请公布日2018.08.21(21)申请号201810622332.1(22)申请日2018.06.15(71)申请人叶侃地址528226广东省佛山市南海区桂城街道佛平三路1号金色领域广场1座504室(72)发明人叶侃(74)专利代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司11246代理人连围(51)Int.Cl.C23C16/00(2006.01)C23C16/52(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种气相沉积装置(57)摘要本发明公开了一种气相沉积装置，其包括动力机构、真空流量计、连接块、支撑架、转轴、加热炉、反应管、盖板、控制阀、泵、液压表，动力机构与真空流量计相连，动力机构、真空流量计都与连接块相连，连接块与多个支撑架相连，支撑架与反应管相连，连接块与多个转轴相连，转轴位于支撑架一侧，泵安装在反应管一端，盖板与反应管的另一端相连，盖板与控制阀相连，加热炉、液压表都安装在反应管上，加热炉位于液压表一侧，加热炉与多个转轴相连等。本发明能够提高工作效率，且操作简单。CN108425099ACN108425099A权利要求书1/1页1.一种气相沉积装置，其特征在于，其包括动力机构、真空流量计、连接块、支撑架、转轴、加热炉、反应管、盖板、控制阀、泵、液压表，动力机构与真空流量计相连，动力机构、真空流量计都与连接块相连，连接块与多个支撑架相连，支撑架与反应管相连，连接块与多个转轴相连，转轴位于支撑架一侧，泵安装在反应管一端，盖板与反应管的另一端相连，盖板与控制阀相连，加热炉、液压表都安装在反应管上，加热炉位于液压表一侧，加热炉与多个转轴相连，其中：动力机构包括轴承、齿轮、转子、涡轮，齿轮、转子、涡轮都与轴承相连，齿轮与转子相连，转子与涡轮相连。2.如权利要求1所述的气相沉积装置，其特征在于，所述动力机构、真空流量计、加热炉上都设有显示器。3.如权利要求2所述的气相沉积装置，其特征在于，所述加热炉上设有多个圆孔。4.如权利要求2所述的气相沉积装置，其特征在于，所述动力机构、真空流量计上都设有底座。5.如权利要求4所述的气相沉积装置，其特征在于，所述真空流量计上设有小孔。6.如权利要求5所述的气相沉积装置，其特征在于，所述真空流量计通过管道与反应管相连。2CN108425099A说明书1/2页一种气相沉积装置技术领域[0001]本发明涉及一种化工设备，特别是涉及一种气相沉积装置。背景技术[0002]气相沉积装置主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。但现有的气相沉积装置工作效率差，且操作复杂。发明内容[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种气相沉积装置，其能够提高工作效率，且操作简单。[0004]本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种气相沉积装置，其包括动力机构、真空流量计、连接块、支撑架、转轴、加热炉、反应管、盖板、控制阀、泵、液压表，动力机构与真空流量计相连，动力机构、真空流量计都与连接块相连，连接块与多个支撑架相连，支撑架与反应管相连，连接块与多个转轴相连，转轴位于支撑架一侧，泵安装在反应管一端，盖板与反应管的另一端相连，盖板与控制阀相连，加热炉、液压表都安装在反应管上，加热炉位于液压表一侧，加热炉与多个转轴相连，其中：[0005]动力机构包括轴承、齿轮、转子、涡轮，齿轮、转子、涡轮都与轴承相连，齿轮与转子相连，转子与涡轮相连。[0006]优选地，所述动力机构、真空流量计、加热炉上都设有显示器。[0007]优选地，所述加热炉上设有多个圆孔。[0008]优选地，所述动力机构、真空流量计上都设有底座。[0009]优选地，所述真空流量计上设有小孔。[0010]优选地，所述真空流量计通过管道与反应管相连。[0011]本发明的积极进步效果在于：本发明能够提高工作效率，且操作简单，结构简单，成本低，体积小。附图说明[0012]图1为本发明的结构示意图。[0013]图2为本发明流量计结构的结构示意图。具体实施方式[0014]下面结合附图给出本发明较佳实施例，以详细说明本发明的技术方案。[0015]如图1至图2所示，本发明气相沉积装置包括动力机构1、真空流量计2、连接块3、支撑架4、转轴5、加热炉6、反应管7、盖板8、控制阀9、泵10、液压表11，动力机构1与真空流量计2相连，动力机构1、真空流量计2都与连接块3相连，连接块3与多个支撑架4相连，支撑架4与反应管7相连，连接块3与多个转轴5相连，转轴5位于支撑架4一侧，泵10安装在反应管7一3CN108425099A说明书2/2页端，盖板8与反应管7的另一端相连，盖板8与控制阀9相连，加热炉6