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一种管体内壁的镀膜装置及其镀膜方法.pdf
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春兰****89
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一种管体内壁的镀膜装置及其镀膜方法.pdf
本发明公开了一种管体内壁的镀膜装置，包括炉体，炉体为双层真空炉并作为阳极，炉壁用循环水冷却；炉体的底部内侧设置炉底托盘，炉底托盘与杆状阳极、工件承重托盘相连，工件承重托盘上设置中空靶材、辅助工装，中空靶材内穿过杆状阳极，辅助工装用于保温及支撑中空靶材，中空靶材的外侧、辅助工装的内侧设置管状工件；炉体内还设置工件阴极、靶材阴极，工件阴极与工件承重托盘相连，工件承重托盘与管状工件导电相连，靶材阴极与中空靶材通过连接导杆相连；工件阴极和电源二、炉体构成回路，产生辉光放电；靶材阴极和电源一、炉体构成回路，产生辉光
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