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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113786961A(43)申请公布日2021.12.14(21)申请号202110979674.0(22)申请日2021.08.25(71)申请人绍兴文理学院地址312000浙江省绍兴市越城区环城西路508号(72)发明人姚博尹乐艳希治远尹宇嘉方泽波(74)专利代理机构绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙)33285代理人陈泽元(51)Int.Cl.B05C7/08(2006.01)B05C11/10(2006.01)B05C13/02(2006.01)C03C17/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种圆管状基材内壁镀膜的装置(57)摘要本发明提供一种圆管状基材内壁镀膜的装置,包括样品管、驱动组件、往复式横移组件、中空的支撑杆,所述驱动组件能够固定样品管和带动样品管转动,所述支撑杆与样品管同轴布置,所述往复式横移组件用于带动支撑杆沿着样品管长度方向往复式移动,所述支撑杆内包含有气溶胶导入管和尾气导出管,所述支撑杆伸入样品管的端部为截面呈扇形的喷涂单元。当温度到达预设工艺温度后,气溶胶导入管开始收入气溶胶(气溶胶为液体气溶胶,来自雾化源),气溶胶颗粒在加热元件与样品管的内壁形成的罅隙间向尾气导出管输运,由于温度作用,气溶胶颗粒在发生溶剂蒸发、溶质热分解反应,反应后的固态产物吸附沉积在样品管的内壁上形成薄膜。CN113786961ACN113786961A权利要求书1/1页1.一种圆管状基材内壁镀膜的装置,其特征在于:包括样品管(4)、驱动组件、往复式横移组件、中空的支撑杆(13),所述驱动组件能够固定样品管(4)和带动样品管(4)转动,所述支撑杆(13)与样品管(4)同轴布置,所述往复式横移组件用于带动支撑杆(13)沿着样品管(4)长度方向往复式移动,所述支撑杆(13)内包含有气溶胶导入管(12)和尾气导出管(11),所述支撑杆(13)伸入样品管(4)的端部为截面呈扇形的喷涂单元,所述喷涂单元包括扇形壳体、加热元件(8)、隔热填充层(7)、气溶胶喷口(6)和尾气吸收入口(5),所述气溶胶喷出口(6)和尾气吸入口(5)位于扇形壳体的两个角上且呈狭窄的矩形截面,所述加热元件(8)位于扇形壳体的顶部,所述隔热填充层(7)位于加热元件(8)的内侧,所述气溶胶导入管(12)的一端连接雾化源,另一端连接气溶胶喷口(6),所述尾气吸收入口(5)的一端连接尾气吸入口(5),另一端延伸至支撑杆(13)外,所述气溶胶喷口(6)喷出的气体沿着加热元件(8)与样品管(4)内壁之间进入尾气吸入口(5)形成扇形的回流通道。2.根据权利要求1所述的一种圆管状基材内壁镀膜的装置,其特征在于:所述加热元件(8)与样品管(4)相对应的一面为圆弧形,所述加热元件(8)顶部的圆弧面与样品管(4)的内壁间距为2±0.5mm。3.根据权利要求2所述的一种圆管状基材内壁镀膜的装置,其特征在于:所述扇形壳体的圆周角在30‑45°之间。4.根据权利要求1所述的一种圆管状基材内壁镀膜的装置,其特征在于:所述加热元件(8)包括了测温热电偶。5.根据权利要求1所述的一种圆管状基材内壁镀膜的装置,其特征在于:所述驱动组件包括两组轮,每一组轮包括了两个从动轮(9)和一个驱动轮(3),所述样品管(4)架设在两个从动轮(9)和一个驱动轮(3)之间,相邻两个驱动轮(3)、从动轮(9)之间通过驱动轮连接轴(14)连接,所述驱动轮(3)上同轴连接有驱动电机(10)。6.根据权利要求5所述的一种圆管状基材内壁镀膜的装置,其特征在于:所述驱动轮(3)通过压杆(1)和拉伸弹簧(2)被以一定的压力压在样品管(4)的外壁上。2CN113786961A说明书1/3页一种圆管状基材内壁镀膜的装置技术领域[0001]本发明涉及镀膜技术领域,具体为一种圆管状基材内壁镀膜的装置。背景技术[0002]在科研和生产实践中,薄膜材料有非常广泛的用途。在基材表面制作一层薄膜可以实现防锈、耐磨、防腐、绝缘、导电、增强或者减弱反射等多种功能。基材的形状也非常多样,平面的、曲面的、不规则的等等。其中圆管状基材是非平面基材中较为常见的一种。现在已经发展出来几十种之多的薄膜制备方法,但没有哪种方法可以实现所有薄膜的制备,根据薄膜成分、结构、基材特点等情况选择恰当的制备方法是科研生产实践中基础性的工作。[0003]在玻璃、石英、陶瓷材质的圆管状样品内壁上制备氧化物薄膜,特别是二氧化锡为主要成分的电热膜,用于各种需要加热、保温的场合是很常见的应用。采用物理气相方法制备,薄膜质量较高,但耗能大、成本高。采用湿化学方法制备,技术上可行,但薄膜往往不能在较高温度下使用,制备过称也存在较为严重的污染(废液、废气)。发明内容[0004