质谱检漏设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109323816A(43)申请公布日2019.02.12(21)申请号201710640780.X(22)申请日2017.07.31(71)申请人深圳市远望工业自动化设备有限公司地址518000广东省深圳市宝安区福永镇桥头村天福路红牌科技园B幢第一层B1(72)发明人龙超祥(74)专利代理机构深圳市惠邦知识产权代理事务所44271代理人孙大勇(51)Int.Cl.G01M3/20(2006.01)权利要求书2页说明书12页附图8页(54)发明名称质谱检漏设备(57)摘要本发明公开一种质谱检漏设备，包括支撑架、真空腔体、升降机构、安全保护装置、示踪气体源、质谱检漏装置及控制装置；所述升降机构包括轴承、连接轴、齿轮、带轮、配重块及气缸，所述轴承固定在所述支撑架上，所述连接轴与所述轴承相连，所述齿轮套设在所述连接轴上，所述带轮与所述齿轮啮合相连，所述带轮的一端与所述真空腔体相连，所述带轮的另一端与所述配重块相连，所述气缸的一端固定在所述支撑架上，所述气缸的另一端与所述真空腔体相连；所述安全保护装置包括：光栅传感器、到位缓冲器、缓冲器挡板及缓冲块；本发明具有气密性优良、安全性能优及真空腔体开合稳定及等优点。CN109323816ACN109323816A权利要求书1/2页1.一种质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，其包括：支撑架、真空腔体、升降机构、安全保护装置、示踪气体源、质谱检漏装置及控制装置；所述真空腔体放置在所述支撑架上，所述真空腔体内设置有用于容纳所述待测箱体的容纳腔；所述升降机构设于所述支撑架上，用于驱动所述真空腔体的结合与分离；所述升降机构包括带轮、配重块及气缸，所述带轮活动连接在所述支撑架上，所述带轮的一端与真空腔体相连，所述带轮的另一端与所述配重块相连，所述气缸的一端固定在所述支撑架上，所述气缸的另一端与所述真空腔体相连，用于带动所述真空腔体运动；所述安全保护装置设置在真空腔体外侧，用于在所述真空腔体的结合与分离过程中进行安全保护；所述安全保护装置包括：到位缓冲器及缓冲器挡板；所述缓冲器挡板固定于所述真空腔体上，用于在所述真空腔体即将运动到预定位置时，与所述到位缓冲器相抵持，以使所述真空腔体缓慢地到达预定位置；所述示踪气体源用于为所述待测箱体提供示踪气体；所述质谱检漏装置与所述真空腔体导通连接，用于检测容纳腔内的所述示踪气体含量，从而判断所述待测箱体是否合格；所述控制装置用于控制所述升降机构、示踪气体源及质谱检漏装置工作。2.根据权利要求1所述的质谱检漏设备，其特征在于，所述安全保护装置还包括光栅传感器，所述光栅传感器包括：发射器和接收器，所述发射器和接收器设置在所述支撑架位置相对的两侧，以使当所述光栅传感器工作时，所述发射器和接收器之间形成一排光幕；所述光幕围绕所述真空腔体外侧。3.根据权利要求2所述的质谱检漏设备，其特征在于，所述真空腔体包括上盖体及下盖体，所述上盖体盖设在所述下盖体上，所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔；所述下盖体包括支撑座、弹性支撑件及支撑板组件，所述支撑座对应所述上盖体设置，用于承载所述支撑板组件，所述弹性支撑件一端固定于所述支撑座上，所述弹性支撑件另一端与所述支撑板组件弹性抵持，使得所述支撑板组件与所述支撑座弹性连接，所述支撑板组件用于承载所述待测箱体。4.根据权利要求3所述的质谱检漏设备，其特征在于，所述支撑座包括支撑横梁、支撑立板及支撑挂板，所述支撑挂板一侧挂设于所述支撑架上，所述支撑立板固定于所述支撑挂板另一侧，用于支撑所述支撑横梁，所述支撑横梁架设于所述支撑立板上，用于承载所述支撑板组件。5.根据权利要求2所述的质谱检漏设备，其特征在于，所述支撑架包括第一支撑组件、第二支撑组件及第三支撑组件；所述第一支撑组件用于承载分级抽机构、分级充机构、气体回收机构及所述示踪气体源；所述第二支撑组件用于承载所述升降机构及所述质谱检漏装置；所述第三支撑组件用于承载所述真空腔体。6.根据权利要求5所述的质谱检漏设备，其特征在于，所述第三支撑组件形成有用于放置所述真空腔体的容纳空间，所述第三支撑组件在位于所述容纳空间的外侧形成有放置口，所述放置口用于容置所述光栅传感器。7.根据权利要求2所述的质谱检漏设备，其特征在于，所述支撑架上端和下端分别设置有一对到位缓冲器。2CN109323816A权利要求书2/2页8.根据权利要求7所述的质谱检漏设备，其特征在于，所述缓冲器挡板固定于所述真空腔体上，所述缓冲器挡板包括肋板及所述撞板，所述撞板固定于两块位置相对设置的所述肋板之间，所述撞板用于在所述真空腔体即将运动到预定位置时与所述到位缓冲器相抵持，所述肋板包括肋板上部、肋板中部及肋板下部，所述肋板中部用于固定所述