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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109323811A(43)申请公布日2019.02.12(21)申请号201710638883.2(22)申请日2017.07.31(71)申请人深圳市远望工业自动化设备有限公司地址518000广东省深圳市宝安区福永镇桥头村天福路红牌科技园B幢第一层B1(72)发明人龙超祥(74)专利代理机构深圳市惠邦知识产权代理事务所44271代理人孙大勇(51)Int.Cl.G01M3/20(2006.01)权利要求书1页说明书11页附图8页(54)发明名称具有真空腔体的质谱检漏设备(57)摘要本发明公开一种具有真空腔体的质谱检漏设备,用于检测待测箱体的气密性,其包括支撑架、真空腔体、示踪气体源及质谱检漏装置,所述真空腔体包括上盖体及下盖体,所述上盖体盖设在所述下盖体上,所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔;所述下盖体包括支撑座、弹性支撑件及支撑板组件,所述支撑座对应所述上盖体设置,用于承载所述支撑板组件,所述弹性支撑件一端固定于所述支撑座上,所述弹性支撑件另一端与所述支撑板组件弹性抵持,使得所述支撑板组件与所述支撑座弹性连接,所述支撑板组件用于承载所述待测箱体;本发明具有真空腔体气密性优良、开合步骤简单快捷及检漏效率高等特点。CN109323811ACN109323811A权利要求书1/1页1.一种具有真空腔体的质谱检漏设备,用于检测待测箱体的气密性,其特征在于,其包括支撑架、真空腔体、示踪气体源及质谱检漏装置,所述支撑架用于支撑所述真空腔体,所述真空腔体包括上盖体及下盖体,所述上盖体盖设在所述下盖体上,所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔;所述下盖体包括支撑座、弹性支撑件及支撑板组件,所述支撑座对应所述上盖体设置,用于承载所述支撑板组件,所述弹性支撑件一端固定于所述支撑座上,所述弹性支撑件另一端与所述支撑板组件弹性抵持,使得所述支撑板组件与所述支撑座弹性连接,所述支撑板组件用于承载所述待测箱体;所述示踪气体源用于为所述待测箱体提供示踪气体;所述质谱检漏装置与所述真空腔体导通连接,用于检测所述待测箱体泄漏到真空腔体的示踪气体的含量。2.根据权利要求1所述的具有真空腔体的质谱检漏设备,其特征在于,所述支撑座还包括支撑横梁、支撑立板及支撑挂板,所述支撑挂板一侧挂设于所述支撑架上,所述支撑立板固定于所述支撑挂板另一侧,用于支撑所述支撑横梁,所述支撑横梁架设于所述支撑立板上,用于承载所述支撑板组件。3.根据权利要求2所述的具有真空腔体的质谱检漏设备,其特征在于,所述支撑板组件包括板体、支撑板导向柱,所述支撑板导向柱设置有位置相对的第一端和第二端,所述支撑板导向柱的第一端固定于所述板体底部,所述支撑横梁两端分别设置有导向孔,所述导向孔贯穿所述支撑横梁位置相对的两侧面,所述支撑板导向柱贯穿所述导向孔并与所述支撑横梁活动连接,以使所述板体能够沿所述导向孔的导向运动。4.根据权利要求3所述的具有真空腔体的质谱检漏设备,其特征在于,所述支撑板组件包括挡片,所述挡片固定于所述支撑板导向柱的第二端,用于限制所述支撑板导向柱在预设范围内活动。5.根据权利要求3所述的具有真空腔体的质谱检漏设备,其特征在于,所述板体的面向所述上盖体的表面设置有若干弹性垫条,所述弹性垫条用于承载所述待测箱体。6.根据权利要求5所述的具有真空腔体的质谱检漏设备,其特征在于,所述板体的面向所述上盖体的表面四周设置有密封胶条,用于所述下盖体与所述上盖体接合面的密封。7.根据权利要求2所述的具有真空腔体的质谱检漏设备,其特征在于,所述支撑架设置有沿着所述支撑架的纵向延伸的第一导轨,所述支撑挂板面向所述第一导轨的一侧设置有导向槽,第一导轨插设在所述导向槽内,以使所述下盖体能够在外力作用下沿着所述第一导轨上下运动。8.根据权利要求1所述的具有真空腔体的质谱检漏设备,其特征在于,所述上盖体外侧壁设有若干上盖体固定件,所述上盖体固定件用于将所述上盖体固定于所述支撑架上。9.根据权利要求8所述的具有真空腔体的质谱检漏设备,其特征在于,所述上盖体包括第一上盖体及第二上盖体,所述第二上盖体盖设于第一上盖体上,所述第一上盖体用于容纳待测箱体的主体,所述第二上盖体用于容纳待测箱体的突出部分。10.根据权利要求9所述的具有真空腔体的质谱检漏设备,其特征在于,所述上盖体设置有管道孔,所述管道孔与所述质谱检漏设备导通连接。2CN109323811A说明书1/11页具有真空腔体的质谱检漏设备技术领域[0001]本发明涉及箱体密封性检测技术领域,尤其涉及一种具有真空腔体的质谱检漏设备。背景技术[0002]质谱检漏技术已在科研和工业部门得到广泛应用,其主要优点是可在各种检测工况条件下实现泄漏率的定量检测,且其检漏分辨率高、测量范围广,特