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一种改良石墨坩埚及其制备方法与应用.pdf
2023-06-01
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本发明涉及一种改良石墨坩埚及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：含氧气氛下热处理石墨坩埚的内腔，得到所述改良石墨坩埚。本发明提供的改良石墨坩埚的内壁为孔隙结构；沿远离改良石墨坩埚中心轴的方向，所述孔隙结构的孔隙率逐渐降低。内壁最内层的孔隙结构使石墨与含硅的合金溶液接触的表面积增加，提高了碳元素溶解到含硅的合金溶液中的速度，从而提高了SiC单晶生长的速度。
2023-06-01
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本发明公开了一种人造石墨坩埚及其制备方法。以重量百分含量表示，该人造石墨坩埚主要由原料焦炭45～65％、人造石墨粉15～25％和高温改质沥青20～30％制成。首先将配制的焦炭和人造石墨粉粉碎，高温改质沥青熔化成液体；将处理后的原料混捏均匀，得到糊料；糊料凉料后成型，得到石墨坩埚生制品；将石墨坩埚生制品送入带盖环式焙烧炉焙烧，得到一次焙烧品；将一次焙烧品送入高压浸渍罐加压浸渍，得到石墨坩埚浸渍品；所得浸渍品送入车底式焙烧炉焙烧，得到二次焙烧品；所得二次焙烧品送入石墨化炉，石墨化后得到石墨坩埚石墨化品；最后进
2023-06-17
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