一种外延片的制备装置及其制备方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115985813A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202211609433.8(22)申请日2022.12.15(71)申请人杭州中欣晶圆半导体股份有限公司地址311201浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号(72)发明人徐新华(74)专利代理机构杭州融方专利代理事务所(普通合伙)33266专利代理师沈相权詹雨露(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/677(2006.01)H01L21/687(2006.01)H01L21/683(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图7页(54)发明名称一种外延片的制备装置及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种外延片的制备装置及其制备方法，涉及外延片制备技术技术领域，包括：加工台；承载槽，其布设于所述加工台上，以用于承载外延片；滑槽，其设置于承载槽中心端；推板，其滑动布设于滑槽中；驱动机构，其与推板连接，用于驱动推板升降，以通过推板将外延片推出预设高度；还包括：取料组件，其布设在加工台上，用于将外延片置于承载槽中以进行镀膜处理；取料组件包括：第一气缸；吸附机构，其于第一气缸伸缩端连接；放料组件，其布设在加工台上，用于将镀膜完成后的外延片从承载槽中移出；相较于现有的吸附式放料组件，不会对外延片的镀膜层产生影响，且镀膜完成后，可直接将外延片移出，以便于下一外延片进行镀膜。CN115985813ACN115985813A权利要求书1/2页1.一种外延片的制备装置，其特征在于，包括：加工台（1）；承载槽（502），其布设于所述加工台（1）上，以用于承载外延片；滑槽（503），其设置于承载槽（502）中心端；推板（5），其滑动布设于滑槽（503）中；驱动机构，其与推板（5）连接，用于驱动推板（5）升降，以通过推板（5）将外延片推出预设高度；还包括：取料组件，其布设在加工台（1）上，用于将外延片置于承载槽（502）中以进行镀膜处理；取料组件包括：第一气缸（403）；吸附机构，其于第一气缸（403）伸缩端连接；放料组件，其布设在加工台（1）上，用于将镀膜完成后的外延片从承载槽（502）中移出；放料组件包括：第二气缸（402）；夹持机构，其于第二气缸（402）伸缩端连接；移送机构，其布设在加工台（1）一侧，与取料组件以及放料组件连接，用于取料组件与放料组件进行位置调节。2.根据权利要求1所述的一种外延片的制备装置,其特征在于，吸附机构包括与第一气缸（403）输出端固定连接吸盘（404），所述吸盘（404）通过管道与真空设备连接。3.根据权利要求1所述的一种外延片的制备装置,其特征在于，夹持机构包括与第二气缸（402）输出端固定连接的支板（405），支板（405）朝向加工台（1）的一侧转动布设有第一螺杆（406），其中，第一螺杆（406）上相对螺旋套设有与夹持板（408）固定连接的第一螺母（407）。4.根据权利要求1所述的一种外延片的制备装置,其特征在于，所述加工台（1）一侧布设有用于上料的第一输送带（102），另一侧布设有用于送料的第二输送带（101）。5.根据权利要求4所述的一种外延片的制备装置,其特征在于，所述移送机构包括滑动布设在加工台（1）上的移送框体（3），所述移送框体（3）内端面相对设有第一齿条板（301）；其中，所述加工台（1）间转动布设有用于与第一齿条板（301）啮合的半齿轮（302），移送框体（3）上分别设有用于安装第一气缸（403）的第一机架（401）以及用于安装第二气缸（402）的第二机架（4）。6.根据权利要求5所述的一种外延片的制备装置,其特征在于，第一机架（401）与第二机架（4）的间距大小等于上料端与承载槽（502）的间距大小或承载槽（502）与放料端的间距大小。7.根据权利要求6所述的一种外延片的制备装置,其特征在于，驱动机构包括与推板（5）固定连接的推座（505）以及第二螺杆（604），第二螺杆（604）上相对螺旋套设有第二螺母（603），第二螺母（603）转动连接推杆（605），推杆（605）另一端与推座（505）转动连接；其中，第二螺杆（604）端部设有主齿轮（602），所述移送框体（3）底部设有与主齿轮（602）啮合的第二齿条板（6）。2CN115985813A权利要求书2/2页8.根据权利要求7所述的一种外延片的制备装置,其特征在于，所述加工台（1）上滑动布设有U型支架（201），镀膜设备（202）安装在U型支架（201）朝向加工台（1）的一侧，加工台（1）上还布设有与U型支架（201）固定连接的第三气缸（2）。9.根据权利要求8所述的一种外延片的制备装置,其特征在于，所述推板（5）朝向承载槽（502）方向相对布设第一电极片，承载槽（502