反应腔的开腔机构、反应腔系统和半导体器件的加工装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115976496A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202211685302.8(22)申请日2022.12.27(71)申请人拓荆科技股份有限公司地址110171辽宁省沈阳市浑南区水家900号(72)发明人谈太德李钦波孙晓波(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100专利代理师徐迪(51)Int.Cl.C23C16/50(2006.01)C23C16/52(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图6页(54)发明名称反应腔的开腔机构、反应腔系统和半导体器件的加工装置(57)摘要本发明公开了一种反应腔的开腔机构、一种反应腔系统和一种半导体器件的加工装置。该开腔机构包括：至少一个升降机构，其底座连接该反应腔的侧面，其上部活动端连接该反应腔的腔盖，用于带动该腔盖进行上升及下降；以及机械限位装置，其底部设置于该升降机构的底座，其顶部在该腔盖上升到达行程上限时，抵接该腔盖的下表面以支撑该腔盖。通过采用上述配置，本发明能够防止腔盖突然坠落的风险。CN115976496ACN115976496A权利要求书1/2页1.一种反应腔的开腔机构，其特征在于，包括：至少一个升降机构，其底座连接所述反应腔的侧面，其上部活动端连接所述反应腔的腔盖，用于带动所述腔盖进行上升及下降；以及机械限位装置，其底部设置于所述升降机构的底座，其顶部在所述腔盖上升到达行程上限时，抵接所述腔盖的下表面以支撑所述腔盖。2.如权利要求1所述的开腔机构，其特征在于，所述机械限位装置包括顶杆和锁紧螺杆，其中，所述顶杆的底部设有定位销和通孔，响应于所述腔盖上升到达所述行程上限，所述顶杆经由所述定位销插入所述升降机构的底座上的销孔，所述锁紧螺杆穿过所述通孔拧入所述升降机构的底座上的螺纹孔，以将所述顶杆的底部紧固连接到所述升降机构的底座，并使所述顶杆的顶部伸入并抵接所述腔盖的下表面。3.如权利要求2所述的开腔机构，其特征在于，所述顶杆的顶部设有防撞块，所述防撞块随所述顶杆的底部被紧固连接到所述升降机构的底座，而伸入并抵接所述腔盖的下表面。4.如权利要求2所述的开腔机构，其特征在于，还包括：控制模块，用于控制电机来驱动所述至少一个升降机构，以带动所述腔盖进行上升及下降；以及第一限位开关，设置于所述机械限位装置的下方，响应于所述机械限位装置被安装至所述升降机构的底座而向所述控制模块发送软互锁信号，以请求所述控制模块禁止所述电机进行关腔操作。5.如权利要求4所述的开腔机构，其特征在于，所述第一限位开关中配置有弹性滚轮，所述弹性滚轮沿所述顶杆伸入所述腔盖的下表面的方向滚动，并在所述顶杆伸入所述腔盖的下表面后受压回缩，所述第一限位开关响应于所述弹性滚轮受压回缩而向所述控制模块发送所述软互锁信号。6.如权利要求4所述的开腔机构，其特征在于，还包括：第二限位开关，设置于所述升降机构的行程下限端和/或行程上限端，响应于所述升降机构超越其行程下限端和/或行程上限端而向所述控制模块发送关停信号，以请求所述控制模块强制关停所述电机。7.如权利要求6所述的开腔机构，其特征在于，所述第二限位开关包括探测器和感应块，其中，所述探测器被安装于所述升降机构的行程下限端和/或行程上限端，所述感应块被安装于所述升降机构的活动端，响应于检测到所述感应块，所述探测器向所述控制模块发送所述关停信号。8.如权利要求4所述的开腔机构，其特征在于，所述开腔机构包括多个所述升降机构，其中，每个所述升降机构分别由对应的电机驱动升降，每个所述升降机构的底座分别设置于所述反应腔的一个侧面，每个所述升降机构的上部活动端分别连接所述腔盖的一侧，所述控制模块分别连接各所述电机，向其中的至少一者发送控制信号，调整对应的至少一侧的上部活动端的高度，以调平所述腔盖。9.如权利要求4所述的开腔机构，其特征在于，所述控制模块被安装于所述腔盖之上。10.如权利要求4所述的开腔机构，其特征在于，还包括：2CN115976496A权利要求书2/2页人机交互接口，远程通讯连接所述控制模块，用于获取用户提供的输入指令，并将所述输入指令远程传输到所述控制模块。11.如权利要求4所述的开腔机构，其特征在于，所述控制模块包括相互独立的水路线槽和电路线槽，其中，所述电路线槽包括相互独立的强电线槽和弱电线槽。12.如权利要求1所述的开腔机构，其特征在于，所述升降机构的表面设有透明观察窗，用于展示所述升降机构内部的运行情况和/或磨损情况。13.一种反应腔系统，其特征在于，包括：反应腔；腔盖；以及如权利要求1～12中任一项所述的反应腔的开腔机构，其中，所述开腔机构分别连接所述反应腔及所述腔盖，用于带动所述腔盖进行开腔及关腔操作。14.一种半导体器件的加工装置，其特征在于，包括如权