一种可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置.pdf

本发明涉及半导体技术领域,且公开了一种可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置,包括刷洗池、传动轴和晶圆片,所述传动轴的表面固定连接有滚筒,所述滚筒的表面开设有多个槽孔,所述滚筒内部与槽孔对应的内表面设置有水道,所述滚筒的内部滑动连接有调节支板,该可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置,通过伸缩机构与调节支板的配合以及刷座与刷头的配合使用,当刷头对晶圆表面进行刷洗之后,可将刷头收回到水道中,挡片与滚筒的配合,可使被收回的刷头所在的水道内部保持封闭状态,从而便于对刷头进行清洗,以去除刷头表面残留的杂质,以保证刷头为洁净的,从而避免对晶圆造成交叉污染,有利于提高晶圆表面刷洗的清洁度。