一种基于AlScN的光-铁电突触器件及制备方法.pdf
猫巷****松臣
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一种基于AlScN的光-铁电突触器件及制备方法.pdf
本申请提供的基于AlScN的光‑铁电突触器件及制备方法,包括自下至上依次设置的衬底、底电极、AlScN铁电层及顶电极,利用AlScN材料的极化方向可随外电场方向翻转的特性,通过电脉冲实现写入信息;利用AlScN材料在外加偏压为零时的强剩余极化特性,实现信息的准确记忆;利用其宽带隙的优势,在零偏压下实现日盲紫外波段的信息无损读取,并且两端器件结构制备方法简单。
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