高性能镀膜修正板.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116005113A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202211645371.6(22)申请日2022.12.21(71)申请人杰莱特（苏州）精密仪器有限公司地址215600江苏省苏州市张家港市经济技术开发区福新路2号(72)发明人乔建栋徐胜黄坚(74)专利代理机构北京红梵知识产权代理事务所(普通合伙)11912专利代理师赵伟成(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)C23C14/54(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称高性能镀膜修正板(57)摘要本发明公开了高性能镀膜修正板，包括真空腔和驱动电机，所述真空腔内腔底端面中部设置有蒸镀源，所述真空腔内腔顶端面中部设置有镀膜伞架，所述驱动电机设置于真空腔左端面中部，所述驱动电机的电机轴末端贯穿延伸至真空腔内腔并固定连接有连接盘，所述连接盘右端面上部固定连接有支撑板，所述支撑板下端面右侧设置有安装座，所述安装座内腔活动连接有第一修正板，所述第一修正板右侧设置有延伸装置，所述第一修正板下端面设置于支撑装置，所述支撑装置末端设置于连接盘右端面下部，该装置结构简单，操作方便，有效提高镀膜的质量。CN116005113ACN116005113A权利要求书1/1页1.高性能镀膜修正板，其特征在于，包括：真空腔（1），所述真空腔（1）内腔底端面中部设置有蒸镀源（2），所述真空腔（1）内腔顶端面中部设置有镀膜伞架（3）；驱动电机（4），所述驱动电机（4）设置于真空腔（1）左端面中部，所述驱动电机（4）的电机轴末端贯穿延伸至真空腔（1）内腔并固定连接有连接盘（5），所述连接盘（5）右端面上部固定连接有支撑板（6），所述支撑板（6）下端面右侧设置有安装座（7），所述安装座（7）内腔活动连接有第一修正板（10），所述第一修正板（10）右侧设置有延伸装置，所述第一修正板（10）下端面设置于支撑装置（8），所述支撑装置（8）末端设置于连接盘（5）右端面下部。2.根据权利要求1所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述延伸装置包括限位凹槽（11）、第二修正板（12）、连接块（17）和传动装置，所述第一修正板（10）的横板上端面右侧开设有限位凹槽（11），所述限位凹槽（11）内腔设置有第二修正板（12），所述第二修正板（12）上端面左侧设置有连接块（17），所述第一修正板（10）上端面中部设置有传动装置，所述传动装置与连接块（17）连接。3.根据权利要求2所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述传动装置包括安装板（13）、立板（14）、驱动马达（15）和丝杆（16），所述第一修正板（10）上端面右侧固定连接有安装板（13），所述第一修正板（10）上端面左左侧中部固定连接有立板（14），所述立板（14）左端面中部固定连接有驱动马达（15），所述驱动马达（51）的输出轴贯穿延伸至立板（14）右侧并固定连接有丝杆（16），所述丝杆（16）的末端贯穿连接块（17）并活动连接于安装板（13）的左端面。4.根据权利要求2所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述限位凹槽（11）与第二修正板（12）的截面均为梯形状，所述限位凹槽（11）与第二修正板（12）相匹配。5.根据权利要求1所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述支撑装置（8）包括连接座（81）、电动伸缩杆（82）和连接件（83），所述第一修正板（10）的下部横板下端面与连接盘（5）的右端面下部均固定连接有连接座（81），所述连接座（81）内腔均活动连接有连接件（83），两组所述连接件（83）的相对端面活动连接有电动伸缩杆（82）。6.根据权利要求1所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述第一修正板（10）呈阶梯状，所述第一修正板（10）的竖板左端面中部设置有橡胶垫，且橡胶垫左端面贴合支撑板（6）右端面。7.根据权利要求1所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述连接盘（5）左端面外圈均匀开设有凹槽，所述凹槽内腔设置有滚珠（9），所述滚珠（9）外壁与真空腔（1）内腔左端面相贴合。8.根据权利要求1所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述第一修正板（10）与第二修正板（12）位于蒸镀源（2）和镀膜伞架（3）之间。2CN116005113A说明书1/3页高性能镀膜修正板技术领域本发明涉及镀膜修正板技术领域，具体为高性能镀膜修正板。背景技术在镀膜过程中，膜层的均匀性对于高产量是至关重要的，特别是在膜层要求变得更加严格和生产量增加以降低成本和保持竞争力的情况下。当腔室几何结构设计不足以达到足够的均匀性时，在基板前方放置膜厚修正板，以提高膜层的均匀性；这种现有技术方案在使用时还存在以下问题：1.镀膜不均匀；2.修正板无法调节长度；所以需要针对上述问题进行