镀膜修正板及其组装方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103088299A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103088299103088299A(43)申请公布日2013.05.08(21)申请号201110345259.6(22)申请日2011.11.04(71)申请人鸿富锦精密工业（深圳）有限公司地址518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号申请人鸿海精密工业股份有限公司(72)发明人裴绍凯(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)C23C14/54(2006.01)C23C14/04(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图5页附图5页(54)发明名称镀膜修正板及其组装方法(57)摘要本发明提供一种镀膜修正板，其包括一个基片、至少一个长度不同的翼片及一个铝箔纸，该至少一个翼片可拆卸地、可转动地组装于该基片。该铝箔纸沿该基片及该至少一个翼片的外轮廓包裹该基片及该至少一个翼片。如此，可以避免人工剪裁对该镀膜修正板的形状的影响，提高镀膜质量及效率，且可改变该修正镀膜板的形状，以适用不同的需求。另外，本发明还提供一种镀膜修正板的组装方法。CN103088299ACN103829ACN103088299A权利要求书1/1页1.一种镀膜修正板，其包括一个基片、至少一个长度不同的翼片及一个铝箔纸，该至少一个翼片可拆卸地、可转动地组装于该基片，该铝箔纸沿该基片及组装于该基片的翼片的外轮廓包裹该基片及组装于该基片的翼片。2.如权利要求1所述的镀膜修正板，其特征在于，该基片包括多个固定柱，每个翼片形成有一个与该固定柱匹配的固定孔，每个翼片通过对应的固定孔与对应的固定柱配合组装于该基片。3.如权利要求2所述的镀膜修正板，其特征在于，该多个翼片组装于部分或者全部固定柱。4.如权利要求2所述的镀膜修正板，其特征在于，该基片呈矩形状，该多个固定柱线性等距分布于该基片的两个长边缘。5.如权利要求4所述的镀膜修正板，其特征在于，该多个固定柱及该至少一个翼片成对组装，每对固定柱分布于该基片两个长边缘的相对位置，每对翼片的大小及形状相同并组装于对应一对固定柱。6.一种镀膜修正板的组装方法，其包括：提供一个基片、多个长度不同的翼片及一个铝箔纸；按镀膜需求从该多个翼片中选择至少一个翼片；按镀膜需求为每个被选择的翼片从该基片上选择一个组装位置；将每个被选择的翼片可拆卸、可转动地组装于对应的组装位置；及将该铝箔纸沿该基片及组装于该基片的翼片的外轮廓包括该基片及组装于该基片的翼片。7.如权利要求6所述的镀膜修正板的组装方法，其特征在于，该多个翼片全部或部分被选择。8.如权利要求6所述的镀膜修正板的组装方法，其特征在于，该基片包括多个固定柱，每个固定柱即一个组装位置，每个翼片形成有一个与该固定柱匹配的固定孔，每个翼片通过对应的固定孔与对应的固定柱配合组装于该基片。9.如权利要求8所述的镀膜修正板的组装方法，其特征在于，被选择的翼片组装于部分或者全部固定柱。10.如权利要求8所述的镀膜修正板的组装方法，其特征在于，该多个固定柱及被选择的翼片成对组装，每对固定柱分布于该基片两个长边缘的相对位置，每对翼片的大小及形状相同并组装于对应一对固定柱。2CN103088299A说明书1/3页镀膜修正板及其组装方法技术领域[0001]本发明涉及镀膜技术，特别涉及一种镀膜修正板及其组装方法。背景技术[0002]镀膜机包括坩埚及相对于坩埚设置的伞架。伞架形成有从中心到边缘的多圈收容孔，每个收容孔收容一个或多个待镀膜工件。镀膜时，坩埚内的材料蒸发后被电子束轰击并与反应气体反应后附着于待镀膜工件形成膜层，而伞架转动以使同一圈收容孔内的待镀膜工件获得的膜层气体基本相同，从而使同一圈收容孔内的待镀膜工件的膜层厚度基本相同。然而，一般地，正对坩埚的几圈收容孔内的膜层气体浓度大于偏离坩埚的几圈收容孔内的膜层气体浓度，导致不同圈的收容孔内的待镀膜工件上的膜层厚度不均，影响镀膜质量。为此，可采用镀膜修正板进行修正。镀膜修正板设置于坩埚与伞架之间，且正板正对坩埚的部分宽度较大而偏离坩埚的部分宽度较小，如此，到达正对镀膜源的几圈收容孔的膜层气体虽然浓度较大但较大部分被遮挡而到达偏离镀膜源的几圈收容孔的镀膜气体虽然浓度较小但较小部分被遮挡，使得不同圈的收容孔内的待镀膜工件获得的膜层气体基本相同，从而从而使不同圈的收容孔内的待镀膜工件的膜层厚度基本相同。镀膜修正板一般包括基板及铝箔纸。目前，镀膜修正板的形状可以取决于基板或铝箔纸的形状，前者的箔纸沿基板的轮廓包裹基板，如此，镀膜修正板的形状确定，当需要其他形状的镀膜修正板时，需重新制作，通用性差。后者的铝箔纸大于基板并展开粘贴在基板上，然而，目前铝箔纸主要通过人工剪裁获得，难以