一种单晶炉热场加热装置及其加热方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113122911A(43)申请公布日2021.07.16(21)申请号202110334151.0(22)申请日2021.03.29(71)申请人浙江晶阳机电股份有限公司地址314000浙江省嘉兴市海宁市丁桥镇镇保路72号2号楼(72)发明人程旭兵周波(74)专利代理机构北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)11357代理人徐昶(51)Int.Cl.C30B15/14(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书3页说明书6页附图12页(54)发明名称一种单晶炉热场加热装置及其加热方法(57)摘要本发明公开一种单晶炉热场加热装置及其加热方法，加热装置位于单晶炉内，所述单晶炉内设有支撑架，支撑架上设有底座和调节件，调节件控制底座位于支撑架上上下移动，底座上设有基准盘，底座上设有阵列分布的调节螺杆，调节螺杆用于调节基准盘的水平度，支撑架上设有加热件，加热件上可拆卸设有填充件，填充件用于向石英罩和坩埚四周填充沙子。本发明加热装置通过转动第二转动手柄，使得底座向下移动，使得基准盘与加热件产生间隙将石英罩放置在基准盘上，取代传统的将石英罩分散成多个部分从加热件的上方放入，操作方便，有利于提高效率；通过转动调节螺杆,使得基准盘的水平度发生改变，取代传统的垫片调节，方便快捷。CN113122911ACN113122911A权利要求书1/3页1.一种单晶炉热场加热装置，加热装置位于单晶炉(1)内，其特征在于，所述单晶炉(1)内设有支撑架(4)，支撑架(4)上设有底座(6)和调节件(5)，调节件(5)控制底座(6)位于支撑架(4)上上下移动，底座(6)上设有基准盘(7)，底座(6)上设有阵列分布的调节螺杆(10)，调节螺杆(10)用于调节基准盘(7)的水平度，支撑架(4)上设有加热件(8)，加热件(8)上可拆卸设有填充件(9)，填充件(9)用于向石英罩和坩埚四周填充沙子。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场加热装置,其特征在于，所述单晶炉(1)包括方形框体(11)，方形框体(11)的一侧转动设有门体(2)，另一侧设有锁合件(3)，门体(2)包括门主体(21)，门主体(21)的一侧与方形框体(11)紧固连接，另一侧设有对称分布的卡口(22)。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场加热装置,其特征在于，所述锁合件(3)包括转动件(31)和锁合单元(32)，转动件(31)包括与方形框体(11)转动连接的第一转动轴(311)，第一转动轴(311)上垂直设有第一螺纹杆(312)，锁合件单元(32)上设有第一连接杆(321)，第一连接杆(321)的一端设有与第一螺纹杆(312)配合的第一螺纹孔(323)，另一端设有第一转动手柄(322)，第一连接杆(321)上设有挤压块(324)。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场加热装置,其特征在于，所述支撑架(4)包括支撑盘(41)，支撑盘(41)上设有对称分布的第二螺纹杆(42)，支撑盘(41)上设有第一贯穿孔(43)和第二贯穿孔(46)，支撑盘(41)的下方设有第一连接块(44)，第一连接块(44)上设有第三贯穿孔(45)。5.根据权利要求4所述的一种单晶炉热场加热装置,其特征在于，所述调节件(5)包括第二转动轴(51)和第三转动轴(54)，第二转动轴(51)位于第二贯穿孔(46)内转动，第二转动轴(51)的一端设有第二转动手柄(53)，另一端设有第一锥齿轮(52)，第三转动轴(54)位于第三贯穿孔(45)内转动，第三转动轴(54)的一端设有与第一锥齿轮啮合传达的第二锥齿轮(55)，另一端设有齿轮(56)。6.根据权利要求5所述的一种单晶炉热场加热装置,其特征在于，所述底座(6)包括与第一贯穿孔(43)滑动连接的滑动轴(61)，滑动轴(61)上设有第一放置槽(62)，第一放置槽(62)内设有与齿轮(56)啮合传动的齿条(63)，滑动轴(61)的一端设有底座主体(64)，底座主体(64)上设有阵列分布的第二螺纹孔(65)，调节螺杆(10)与第二螺纹孔(65)配合。7.根据权利要求6所述的一种单晶炉热场加热装置,其特征在于，所述基准盘(7)放置在底座主体(64)上，通过转动调节螺杆(10)调节基准盘(7)的水平度。8.根据权利要求7所述的一种单晶炉热场加热装置,其特征在于，所述加热件(8)包括发热件，发热件与籽晶杆同轴心，发热件包括螺旋分布的发热管(81)，发热管(81)的两端分别设有电极部(82)，发热件上设有对称分布的第二连接块(83)，第二连接块(83)的两端分别设有第一支撑环(84)，第二连接块(83)内设有连通孔(85)，连通孔(85)与发热管(81)连通，第二连接块(83)上设有第二连接杆(86)，第二连