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一种具有静电防护功能的晶圆切割装置.pdf
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戊午****jj
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本发明公开了一种具有静电防护功能的晶圆切割装置，包括机架、第一电动推杆和切割刀片，所述机架的内部上端设置有第一电动推杆，所述第一电动推杆的下端设置有切割刀片，所述机架内部两侧设置有位置调整机构，所述括机架的内部滑动设置有固定架，所述限位架的内部设置有气动吸附清洁机构，所述顶柱具有弹性，所述顶柱的下端设置有通电调整机构；在产生电流时会通过传感器来对电流进行监测，晶圆和切割刀摩擦的速度越快时，晶圆和切割刀片表面附带的静电也就越多，所以当摩擦力越大时，摩擦的速度越快，产生的电流量也就越多，通过对电流量进行监测，
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