用于在涂布机中支撑基板的具有竖直网格的载体.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111868295A(43)申请公布日2020.10.30(21)申请号201980018837.X(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限(22)申请日2019.03.07责任公司11287代理人沈鹏(30)优先权数据62/642,5252018.03.13US(51)Int.Cl.62/681,0082018.06.05USC23C14/50(2006.01)C23C16/458(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日H01L21/677(2006.01)2020.09.11(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2019/0212272019.03.07(87)PCT国际申请的公布数据WO2019/177871EN2019.09.19(71)申请人唯景公司地址美国加利福尼亚州(72)发明人B·尼兰M·波特D·什里瓦斯塔瓦权利要求书3页说明书14页附图16页(54)发明名称用于在涂布机中支撑基板的具有竖直网格的载体(57)摘要本文的各种实施例涉及用于在一个或多个基板通过处理设备时支撑所述基板的载体。在许多情况下，所述基板以竖直方式定向。所述载体可包括框架和将玻璃固定到所述框架的竖直支撑杆。所述载体可不具有水平支撑杆。所述载体可允许所述基板的热膨胀和收缩，而不需要在相邻的基板对之间提供精确的间隙。本文描述的所述载体基本上降低了所述处理设备和基板断裂的风险，从而实现更有效的处理。本文的某些实施例涉及将基板装载到载体上的方法。CN111868295ACN111868295A权利要求书1/3页1.一种用于在至少一个基板通过涂布机时将所述至少一个基板保持在基本上竖直定向的载体，所述涂布机在所述至少一个基板的至少前表面上提供涂层，所述载体包含：底部抽头杆；顶部抽头杆；多个竖直支撑杆，每个竖直支撑杆具有准许与所述顶部抽头杆和所述底部抽头杆两者接合的长度，其中所述多个竖直支撑杆包含至少最左边和最右边的竖直支撑杆，并且其中所述多个竖直支撑杆与所述底部抽头杆和所述顶部抽头杆组合限定一个或多个孔；和多个附件，其用于与所述底部抽头杆和所述顶部抽头杆接合以准许所述多个竖直支撑杆中的至少一个沿所述底部抽头杆和所述顶部抽头杆水平移动。2.根据权利要求1所述的载体，其另外包含用于将所述基板的端部紧固到所述竖直支撑杆的多个紧固件，其中每个竖直支撑杆具有用于在多个竖直位置处附接到所述多个紧固件的多个紧固件附接位置。3.根据权利要求1或2所述的载体，其中每个竖直支撑杆沿所述竖直支撑杆的平坦表面与所述基板接合。4.根据权利要求2或3所述的载体，其中每个紧固件包含至少一个销或钉。5.根据权利要求4所述的载体，其中每个紧固件包含至少两个销或钉。6.根据权利要求2至5中任一项所述的载体，其中所述多个紧固件附接位置包含所述竖直支撑杆中的多个狭槽、孔洞、凹槽或其它开口。7.根据权利要求1至6中任一项所述的载体，其中至少一个孔的水平尺寸在约50英寸和200英寸之间。8.根据权利要求1至7中任一项所述的载体，其中所述孔的竖直尺寸在约50英寸和150英寸之间。9.根据权利要求1至8中任一项所述的载体，其中所述基板包含玻璃或塑料。10.根据权利要求1至9中任一项所述的载体，其中所述基板为待用电致变色器件涂布的窗口。11.根据权利要求1至10中任一项所述的载体，其中所述多个附件被配置成移动以适应所述基板的热膨胀。12.根据权利要求1至11中任一项所述的载体，其中所述多个附件中的至少一个包含适应所述基板的所述热膨胀的弹簧。13.根据权利要求1至12中任一项所述的载体，其中所述底部抽头杆和/或顶部抽头杆包含金属。14.根据权利要求1至13中任一项所述的载体，其中所述多个竖直支撑杆包含金属。15.根据权利要求1至14中任一项所述的载体，其另外包含用于使所述载体移动穿过所述涂布机的传送机构。16.根据权利要求1至15中任一项所述的载体，其另外包含被配置成在涂布期间保护所述载体的至少一部分的护罩。17.根据权利要求1至16中任一项所述的载体，其中所述载体被配置成允许将所述基板以准许具有不同宽度的基板竖直地堆叠于彼此的顶部上的方式堆叠在所述载体中。2CN111868295A权利要求书2/3页18.根据权利要求1至17中任一项所述的载体，其中所述多个附件被配置成限制所述多个竖直支撑杆在与由所述载体的竖直方向和水平方向限定的平面正交的方向上的移动。19.一种用于在多个基板通过涂布机时将所述多个基板保持在基本上竖直定向的载体，所述涂布机在所述多个基板的至少前表面上提供涂层，所述载体包含：框架，其具有孔，所述孔具有水平尺寸和竖直尺寸；底部抽头杆，其附连到所述框架并且沿所述孔的底部部分水平延伸；顶部抽头杆