一种静电卡盘.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114121760A(43)申请公布日2022.03.01(21)申请号202111151942.6C23C16/44(2006.01)(22)申请日2016.08.02C23C16/513(2006.01)C23C16/458(2006.01)(30)优先权数据62/202,6562015.08.07US(62)分案原申请数据201610625498.X2016.08.02(71)申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州(72)发明人林兴周建华Z·J·叶陈建J·C·罗查-阿尔瓦雷斯(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人汪骏飞(51)Int.Cl.H01L21/683(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图10页(54)发明名称一种静电卡盘(57)摘要公开了一种静电卡盘。所述静电卡盘包括：主体，所述主体耦合到支撑杆，所述主体具有基板支撑表面；肩部，所述肩部从所述主体的基板支撑表面突出，其中绕所述主体的周边设置所述肩部；内部电极，所述内部电极嵌入在所述主体内，所述内部电极从所述主体的中心径向地延伸到邻近所述肩部的区域；以及外部电极，所述外部电极嵌入在所述主体内，所述外部电极径向地设置在所述内部电极的外部，并且所述外部电极相对地设置在所述内部电极上方的一高度处。CN114121760ACN114121760A权利要求书1/2页1.一种静电卡盘，包括：主体，所述主体耦合到支撑杆，所述主体具有平坦的基板支撑表面；肩部，所述肩部在所述主体的所述平坦的基板支撑表面上方突出，其中绕所述主体的周边并且环绕所述平坦的基板支撑表面设置所述肩部；单个电极，所述单个电极从所述主体的中心延伸至在所述肩部下方径向地延伸的区域；以及一个或多个加热器，所述一个或多个加热器设置在所述单个电极下方，或者设置在与所述单个电极相同的平面中。2.如权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述单个电极包括铜。3.如权利要求1所述的静电卡盘，进一步包括：电源，所述电源耦合至所述单个电极；和电连接，所述电连接从所述单个电极延伸至所述电源。4.如权利要求3所述的静电卡盘，其特征在于，所述主体包括氮化铝。5.如权利要求3所述的静电卡盘，其特征在于，所述主体包括氧化铝。6.如权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述单个电极设置在与所述一个或多个加热器相同的平面中。7.如权利要求1所述的静电卡盘，进一步包括：导电构件，耦合至所述单个电极；电源，耦合至所述单个电极；和电连接，所述电连接从所述单个电极延伸至所述电源，其中所述电连接延伸穿过所述导电构件。8.如权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述单个电极包含镍。9.一种用于支撑基板的静电卡盘，包括：主体，所述主体耦合到支撑杆，所述主体具有平坦的基板支撑表面，所述平坦的基板支撑表面具有外圆周，其中所述平坦的基板支撑表面形成从所述主体的中心到所述外圆周的连续平坦表面；多个突片，所述多个突片在所述主体的所述平坦的基板支撑表面上方突出，所述多个突片中的每一个具有定位成与所述平坦的基板支撑表面的中心相距径向距离的外边缘，所述径向距离小于所述外圆周；单个电极，所述单个电极从所述主体的中心延伸至径向地延伸超出所述多个突片的区域；以及一个或多个加热器，所述一个或多个加热器设置在所述单个电极下方。10.如权利要求9所述的静电卡盘，其特征在于，所述单个电极包括铜。11.如权利要求9所述的静电卡盘，进一步包括：电源，所述电源耦合至所述单个电极；和电连接，所述电连接从所述单个电极延伸至所述电源。12.如权利要求9所述的静电卡盘，其特征在于，所述多个突片中的每一个具有梯形形状。13.如权利要求12所述的静电卡盘，其特征在于，所述主体包括氮化铝。2CN114121760A权利要求书2/2页14.如权利要求12所述的静电卡盘，其特征在于，所述主体包括氧化铝。15.如权利要求1所述的静电卡盘，进一步包括：导电构件，耦合至所述单个电极；电源，耦合至所述单个电极；和电连接，所述电连接从所述单个电极延伸至所述电源，其中所述电连接延伸穿过所述导电构件。16.一种用于支撑基板的静电卡盘，包括：主体，所述主体耦合到支撑杆，所述主体具有平坦的基板支撑表面，所述平坦的基板支撑表面具有外圆周，其中所述平坦的基板支撑表面形成从所述主体的中心到所述外圆周的连续平坦表面；多个突片，所述多个突片在所述主体的所述平坦的基板支撑表面上方突出，所述多个突片中的每一个具有定位成与所述平坦的基板支撑表面的中心相距径向距离的外边缘，所述径向距离小于所述外圆周；边缘环，所述边缘环设置在平坦的基板支撑表面上，所述边缘环环绕所述多个突片；单个电极，所述单个电极从所述主体的中心延伸至在所述边缘环下方径向