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一种静电卡盘及其制备方法.pdf
2023-06-15
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一吃****新冬
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一种静电卡盘及其制备方法.pdf
本发明公开了一种静电卡盘及其制备方法，属于静电卡盘技术领域，所述静电卡盘包括底座和设置在所述底座上的陶瓷板，所述陶瓷板包括圆盘式的上盘体和圆盘式的下盘体，所述上盘体和所述下盘体间设有电极层，所述上盘体的底部设有与所述下盘体的外侧壁配合的凹槽，所述电极层设置在所述凹槽中，所述上盘体的上侧壁与所述凹槽的上侧壁平行，所述制造方法包括：分别烧制陶瓷材料的所述上盘体和所述下盘体，所述上盘体烧结完成后具有所述凹槽；打磨平整所述上盘体的上侧壁，并且打磨所述凹槽的上侧壁，使得所述上盘体的上侧壁与所述凹槽的上侧壁平行；在所
2023-06-15
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2023-05-29
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2023-06-16
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2023-05-23
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一种防静电胶及其制备方法.pdf
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