一种石墨烯薄膜连续生长系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114196939A(43)申请公布日2022.03.18(21)申请号202111557284.0(22)申请日2021.12.18(71)申请人北京泰科诺科技有限公司地址102200北京市昌平区回龙观镇建材城西路87号院8号楼11层1-1218(72)发明人周文雅(74)专利代理机构北京维正专利代理有限公司11508代理人郑雷庄博强(51)Int.Cl.C23C16/26(2006.01)C23C16/54(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称一种石墨烯薄膜连续生长系统(57)摘要本发明公开了一种石墨烯薄膜连续生长系统，包括机体和反应框，机体的进料口固定连接有进料架，机体的出料口固定连接有出料架，机体的一侧设置有用于将反应框从出料架内取出或将反应框装入进料架的辅助装置，反应框包括位于反应框底部的底板、固定于底板上的架体以及固定于支架上的反应盒，出料架和进料架均包括支撑板，两个支撑板上均固定连接有垫块，垫块的顶面用于与底板的底面相抵触，辅助装置包括底座板，底座板的顶面上固定有支柱，支柱顶部固定连接有安装板，安装板的顶面上滑动设置支撑杆，支撑杆上设置有阻碍底板脱离支撑杆的第一卡接机构。本申请具有减少工作人员对反应框的搬移工作，降低工作人员的劳动强度的效果。CN114196939ACN114196939A权利要求书1/2页1.一种石墨烯薄膜连续生长系统，包括机体(2)和反应框(6)，其特征在于：所述机体(2)的进料口固定连接有进料架(3)，所述机体(2)的出料口固定连接有出料架(4)，所述机体(2)的一侧设置有用于将所述反应框(6)从所述出料架(4)内取出或将所述反应框(6)装入所述进料架(3)的辅助装置(1)，所述反应框(6)包括位于所述反应框(6)底部的底板(61)、固定于所述底板(61)上的架体(62)以及固定于支架上的反应盒(63)，所述出料架(4)和所述进料架(3)均包括用于支撑所述反应框(6)的支撑板(31)，两个所述支撑板(31)上均固定连接有垫块(32)，所述垫块(32)的顶面用于与所述底板(61)的底面相抵触，所述辅助装置(1)包括滑动设置于地面上的底座板(11)，所述底座板(11)的顶面上固定有支柱(12)，所述支柱(12)顶部固定连接有安装板(14)，所述安装板(14)的顶面上滑动设置有可插入所述底板(61)和所述支撑板(31)之间的支撑杆(15)，所述支撑杆(15)上设置有阻碍所述底板(61)脱离所述支撑杆(15)的第一卡接机构(18)。2.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜连续生长系统，其特征在于：所述第一卡接机构(18)包括第一卡接块(181)、固定连接于所述第一卡接块(181)侧面的第一限位块(182)和第一复位弹簧(183)，所述支撑杆(15)的顶面上开设有第一卡块槽(151)，所述第一卡块槽(151)的内侧壁上开设有第一限位槽(1511)，所述第一复位弹簧(183)设置于所述第一卡块槽(151)内，所述第一卡接块(181)插设于所述第一卡块槽(151)内，所述第一限位块(182)插设于所述第一限位槽(1511)内，所述第一复位弹簧(183)的一端抵触于所述第一卡块槽(151)的底壁上，所述第一复位弹簧(183)的另一端抵触于所述第一限位块(182)的底面上。3.根据权利要求2所述的一种石墨烯薄膜连续生长系统，其特征在于：两个所述支撑板(31)靠近所述辅助装置(1)的一侧均设置有阻碍所述反应框(6)脱离所述进料架(3)和所述出料架(4)的第二卡接机构(34)，所述第二卡接机构(34)包括第二卡接块(341)、固定连接于所述第二卡接块(341)侧面的第二限位块(342)和第二复位弹簧(343)，所述支撑板(31)的顶面上开设有第二卡块槽(311)，所述第二卡块槽(311)的内侧壁上开设有第二限位槽(312)，所述第二复位弹簧(343)设置于所述第二卡块槽(311)内，所述第二卡接块(341)插设于所述第二卡块槽(311)内，所述第二限位块(342)插设于所述第二限位槽(312)内，所述第二复位弹簧(343)的一端抵触于所述第二卡块槽(311)的底壁上，所述第二复位弹簧(343)的另一端抵触于所述第二限位块(342)的底面上。4.根据权利要求3所述的一种石墨烯薄膜连续生长系统，其特征在于：所述第二卡接块(341)的顶部设置有第二斜面(3411)，所述第二斜面(3411)位于所述第二卡接块(341)靠近所述辅助装置(1)的一侧，所述支撑杆(15)的端面上设置有用于与所述第二斜面(3411)相抵触的第三斜面(153)，所述第一卡接块(181)的顶部设置有第一斜面(1811)，所述第一斜面(1811)位