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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114602348A(43)申请公布日2022.06.10(21)申请号202210328976.6B01F35/12(2022.01)(22)申请日2022.03.31B01D29/68(2006.01)B01F23/70(2022.01)(71)申请人深圳市乐苏科技有限公司地址518000广东省深圳市宝安区石岩街道水田社区三民工业园厂房A栋四层申请人广西乐苏科技有限公司(72)发明人张云生卢德福郑楚健(74)专利代理机构深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙)44585专利代理师李晓林(51)Int.Cl.B01F27/84(2022.01)B01F33/40(2022.01)B01F35/00(2022.01)B01F35/11(2022.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置及其方法(57)摘要本发明公开了一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置及其方法,属于玻璃化学蚀刻技术领域。一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置,包括过滤箱、制备罐,还包括:滑动连接在所述过滤箱内壁的框架、支撑杆;喷头,固定连接在所述支撑杆上;过滤网,固定连接在所述框架底部;加热箱,固定安装在所述过滤箱底部;本发明,可在对高铝硅蚀刻液进行调配时,提高混合液混合搅拌的均匀性,以及能够达到对混合液混合搅拌时产生的有害气体进行收集利用,从而减少有害气体的排放,提高了装置的环保效果,并且能够在高铝硅蚀刻液制备完成后对制备罐内壁进行自动冲洗清洁,以及对吸附堵塞在过滤网缝隙内的颗粒物杂质进行反冲洗清理。CN114602348ACN114602348A权利要求书1/2页1.一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置,包括过滤箱(1)、制备罐(2),其特征在于,还包括:滑动连接在所述过滤箱(1)内壁的框架(104)、支撑杆(1102);喷头(1104),固定连接在所述支撑杆(1102)上;过滤网(105),固定连接在所述框架(104)底部;加热箱(3),固定安装在所述过滤箱(1)底部;压缩机(9)、抽水泵(5),均固定安装在所述制备罐(2)外壁两侧,所述压缩机(9)与制备罐(2)顶部通过导管二(901)相连,且压缩机(9)与所述加热箱(3)通过导管三(902)相连;第二泄压阀(903),连接在所述导管二(901)上,其中,所述制备罐(2)底部内壁设有喷气嘴(802),所述加热箱(3)与喷气嘴(802)通过导管一(8)相连,所述导管一(8)上连接有第一泄压阀(801);潜水泵(4),设置在所述过滤箱(1)内,且潜水泵(4)的输出端与所述制备罐(2)相连;导热管(503),设置在所述制备罐(2)外壁与内壁之间,所述抽水泵(5)两端分别与加热箱(3)、导热管(503)相连,所述导热管(503)的出水端与加热箱(3)通过管道五(504)相连;支撑架(6),固定连接在所述制备罐(2)顶部;筒体(601),转动连接在所述制备罐(2)顶部,且筒体(601)上固定连接有第一连接杆(603);转轴一(602),转动连接在所述支撑架(6)上,且转轴一(602)外壁固定连接有第二连接杆(606),所述第二连接杆(606)与第一连接杆(603)上均固定连接有拨板(604),且第一连接杆(603)上固定连接有刮板(605),其中,所述支撑架(6)上设有用于驱动筒体(601)、转轴一(602)转动的驱动部一,所述过滤箱(1)内设有用于驱动支撑杆(1102)移动的驱动部二;喷水嘴(1001),固定连接在所述拨板(604)上,所述喷水嘴(1001)通过导管四(10)与抽水泵(5)相连;导管五(1105),固定连接在所述过滤箱(1)底部内壁,所述导管五(1105)其一端与喷头(1104)相连,另一端与抽水泵(5)相连,所述导管五(1105)与导管四(10)上均设有控制开启或关闭的控制阀。2.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置,其特征在于,所述潜水泵(4)固定安装在过滤箱(1)底部内壁,所述潜水泵(4)的输入端固定连接有管道一(401),所述潜水泵(4)的输出端与制备罐(2)通过管道二(402)相连。3.根据权利要求2所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置,其特征在于,所述过滤箱(1)上固定连接有四组进料管(101),四组所述进料管(101)上均连接有电磁阀一(102),所述过滤箱(1)外壁固定安装有控制器(103)。4.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置,其特征在于,所述抽水泵(5)的输入端通过管道三(501)与加热箱(3)相连,所述抽水泵(5)的输出端通过管道四(502)与导热管(503)相连通,所述导管