基板支撑件及配向膜预烘烤装置.pdf
骊蓉****23
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基板支撑件及配向膜预烘烤装置.pdf
本发明提供一种基板支撑件及配向膜预烘烤装置。本发明的配向膜预烘烤装置包括支撑架、及安装于所述支撑架上用于对基板进行支撑的多个支撑针;所述支撑架内部设有流体通道,所述支撑架一端连接有流体输入管道,所述流体输入管道与流体通道连通并向其内输入流体以对安装在所述支撑架上的多个支撑针进行温度调节,本发明通过向支撑架内通入流体而对支撑针进行温度调节,从而在配向膜预烘烤制程中,不会因为支撑针温度过高,在基板与支撑针接触时造成支撑针所支撑位置处配向液提前固化而形成点状的膜面凸起,从而从源头上解决了PinMura的问题。
温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置及方法.pdf
本发明涉及一种温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置及方法,该装置包括用于从基板下方预干燥基板的加热器、用于向上支撑基板的若干温控针以及温控系统,所述温控针连接至所述温控系统,每个所述温控针可由所述温控系统单独控制温度,以使基板上温控针的支撑位置与支撑位置的周围受热均匀。本发明的温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置及方法可以减少玻璃基板表面的受热不均,减少Pin?Mura。
一种配向膜预烘烤炉设备及配向膜预烘烤方法.pdf
本发明公开了一种配向膜预烘烤炉设备和配向膜预烘烤方法。配向膜预烘烤炉设备包括:第一支架,其朝上一侧表面分布有若干第一顶针,若干所述第一顶针的尖端共同定义第一支撑面;第二支架,其朝上一侧表面分布有若干第二顶针,若干所述第二顶针的尖端共同定义第二支撑面;驱动机构,用于驱动所述第二支架上下及平移,以使得所述第二支撑面至少依序经历高于所述第一支撑面、高于所述第一支撑面时平移、低于所述第一支撑面的状态。通过上述方式,本发明能够实现配向膜预烘烤炉设备中预烘烤的基板可以在第一顶针和第二顶针之间来回移动,从而能够避免配向
液晶配向膜的烘烤装置.pdf
本申请实施例提供一种液晶配向膜的烘烤装置,包括炉体、门体和密封件。炉体包括相互连接的本体和延伸部,本体设置有容纳空间和与容纳空间连通的开口,容纳空间用于容纳涂布有液晶配向液的玻璃基板。延伸部与本体连接,延伸部具有通道,通道与开口连通。门体用于封闭通道。密封件与门体间隔且设置于通道内,门体封闭通道时,密封件处于展开状态,且密封开口;当门体不封闭通道时,密封件处于折叠状态,露出开口。通过将密封件与门体分离设计,可以减小由于门体变形而导致的密封件的形变进而影响密封件的密封效果的问题。
配向膜预固化方法及装置.pdf
本发明提供了一种配向膜预固化方法及装置,包括:第一支撑台,用于装载目标基板;加热板,位于远离所述目标基板的所述第一支撑台的一侧;支撑针,位于所述目标基板与所述加热板之间,用于支撑位于所述第一支撑台上的所述目标基板;其中,所述配向膜预固化装置还包括设置于所述支撑针表面的金属薄膜。本发明通过在所述支撑针表面设置金属薄膜,当所述支撑针的温度超过预定值时,所述制冷装置对所述支撑针上的所述金属薄膜进行降温处理,使得待配向基板受热均匀,配向膜溶液均匀挥发,避免了待配向基板的配向膜分布不均的技术问题。