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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107505739A(43)申请公布日2017.12.22(21)申请号201710787557.8(22)申请日2017.09.04(71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有限公司地址518132广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号(72)发明人廖凯(74)专利代理机构深圳市德力知识产权代理事务所44265代理人林才桂(51)Int.Cl.G02F1/13(2006.01)G02F1/1337(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称基板支撑件及配向膜预烘烤装置(57)摘要本发明提供一种基板支撑件及配向膜预烘烤装置。本发明的配向膜预烘烤装置包括支撑架、及安装于所述支撑架上用于对基板进行支撑的多个支撑针;所述支撑架内部设有流体通道,所述支撑架一端连接有流体输入管道,所述流体输入管道与流体通道连通并向其内输入流体以对安装在所述支撑架上的多个支撑针进行温度调节,本发明通过向支撑架内通入流体而对支撑针进行温度调节,从而在配向膜预烘烤制程中,不会因为支撑针温度过高,在基板与支撑针接触时造成支撑针所支撑位置处配向液提前固化而形成点状的膜面凸起,从而从源头上解决了PinMura的问题。CN107505739ACN107505739A权利要求书1/1页1.一种基板支撑件,其特征在于,包括支撑架(10)、及安装于所述支撑架(10)上用于对基板进行支撑的多个支撑针(20);所述支撑架(10)内部设有流体通道(15),所述支撑架(10)一端连接有流体输入管道(30),所述流体输入管道(30)与流体通道(15)连通并向其内输入流体以对安装在所述支撑架(10)上的多个支撑针(20)进行温度调节。2.如权利要求1所述的基板支撑件,其特征在于,还包括对所述多个支撑针(20)进行温度控制的温控系统(40);所述温控系统(40)包括安装在支撑架(10)上以测试支撑架(10)温度的温度传感器(41)、安装在流体输入管道(30)上以调节其内流体温度和流量的温度流量调节器(42)、及与所述温度传感器(41)和温度流量调节器(42)均相连接的温度控制器(43);其中,所述温度控制器(43)根据所述温度传感器(41)的反馈,控制所述温度流量调节器(42)对流体输入管道(30)内流体的温度和流量进行调节,进而控制所述多个支撑针(20)的温度。3.如权利要求1所述的基板支撑件,其特征在于,每一所述支撑针(20)均包括支撑柱(21)和支撑针头(22),所述支撑柱(22)位于所述支撑针头(22)的下方用于支撑所述支撑针头(22)并与所述支撑架(10)连接而安装在支撑架(10)上;其中,所述支撑柱(21)为圆柱型,所述支撑针头(22)为圆锥形;所述支撑柱(21)为导热金属材料,所述支撑针头(22)为热绝缘材料。4.如权利要求3所述的基板支撑件,其特征在于,所述支撑柱(21)为不锈钢材料,所述支撑针头(22)为聚醚醚酮材料。5.如权利要求1所述的基板支撑件,其特征在于,所述支撑架(10)包括支架本体(11)、及设于所述支架本体(11)上的多个安装柱(12),每一支撑针(20)对应安装于一个安装柱(12)上。6.如权利要求5所述的基板支撑件,其特征在于,所述流体通道(15)贯穿所述支架本体(11)并向上延伸至每一安装柱(12)内。7.如权利要求1所述的基板支撑件,其特征在于,所述支架本体(11)在每一安装柱(12)的位置处设有用于收容安装柱(12)和支撑针(20)的收容孔,所述安装柱(12)通过上下移动收容于收容孔内或伸出于所述支架本体(11),从而带动所述支撑针(20)收容于收容孔内或伸出于所述支架本体(11)。8.如权利要求1所述的基板支撑件,其特征在于,所述流体输入管道(30)向流体通道(15)内输入的流体为工艺冷却水、氮气、或压缩干燥空气。9.如权利要求1所述的基板支撑件,其特征在于,所述支撑架(10)为不锈钢材料。10.一种配向膜预烘烤装置,其特征在于,包括如权利要求1-9中任一项所述的基板支撑件、及用于从所述基板下方对基板进行加热的加热板,所述多个支撑针(20)穿过所述加热板上下移动。2CN107505739A说明书1/5页基板支撑件及配向膜预烘烤装置技术领域[0001]本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种基板支撑件及配向膜预烘烤装置。背景技术[0002]液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay,LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置,其包括液晶显示面板及背光模组。通常液晶显示面板由彩膜(ColorFilter,CF)基板、薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,