配向膜预固化方法及装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109031725A(43)申请公布日2018.12.18(21)申请号201811012612.7(22)申请日2018.08.31(71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有限公司地址518132广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号(72)发明人刘崇业(74)专利代理机构深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300代理人黄威(51)Int.Cl.G02F1/13(2006.01)G02F1/1337(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称配向膜预固化方法及装置(57)摘要本发明提供了一种配向膜预固化方法及装置，包括：第一支撑台，用于装载目标基板；加热板，位于远离所述目标基板的所述第一支撑台的一侧；支撑针，位于所述目标基板与所述加热板之间，用于支撑位于所述第一支撑台上的所述目标基板；其中，所述配向膜预固化装置还包括设置于所述支撑针表面的金属薄膜。本发明通过在所述支撑针表面设置金属薄膜，当所述支撑针的温度超过预定值时，所述制冷装置对所述支撑针上的所述金属薄膜进行降温处理，使得待配向基板受热均匀，配向膜溶液均匀挥发，避免了待配向基板的配向膜分布不均的技术问题。CN109031725ACN109031725A权利要求书1/2页1.一种配向膜预固化装置，其特征在于，包括：第一支撑台，用于装载目标基板；加热板，位于远离所述目标基板的所述第一支撑台的一侧；支撑针，位于所述目标基板与所述加热板之间，用于支撑位于所述第一支撑台上的所述目标基板；其中，所述配向膜预固化装置还包括设置于所述支撑针表面的金属薄膜。2.根据权利要求1所述的配向膜预固化装置，其特征在于，所述配向膜预固化装置包括至少两组支撑针，每一组所述支撑针包括至少两个所述支撑针；其中，所述至少两组支撑针穿过所述第一支撑台及所述加热板与所述目标基板接触，并交替对所述目标基板进行支撑。3.根据权利要求1所述的配向膜预固化装置，其特征在于，所述支撑针包括支撑柱和支撑针头；所述支撑针头位于所述支撑针靠近所述目标基板的一侧，所述支撑柱位于所述支撑针远离所述目标基板的一侧，所述支撑柱用于支撑所述支撑针头；其中，所述金属薄膜位于所述支撑针头表面。4.根据权利要求3所述的配向膜预固化装置，其特征在于，所述支撑针头为圆锥形，所述支撑柱为圆柱型。5.根据权利要求1所述的配向膜预固化装置，其特征在于，所述配向膜预固化装置还包括第二支撑台；所述第二支撑台位于所述加热板远离所述第一支撑台的一侧，所述第二支撑台用于固定所述支撑针。6.根据权利要求5所述的配向膜预固化装置，其特征在于，所述配向膜预固化装置还包括升降装置，所述升降装置用于驱动所述第二支撑台上、下运动，以控制所支撑针的升降。7.根据权利要求6所述的配向膜预固化装置，其特征在于，所述配向膜预固化装置还包括制冷装置；当所述支撑针的温度超过预定值时，所述制冷装置对所述支撑针上的所述金属薄膜进行降温处理。8.根据权利要求7所述的配向膜预固化装置，其特征在于，所述制冷装置为激光制冷装置；所述配向膜预固化装置通过所述支撑针上的所述金属薄膜，接收所述激光制冷装置发出的激光进行降温处理。9.根据权利要求8所述的配向膜预固化装置，其特征在于，每一行或列所述支撑针对应至少两道所述激光。10.一种利用权利要求1～9任一项所述的配向膜预固化装置的配向膜预固化方法，其特征在于，包括：提供一目标基板，将所述目标基板设置于所述第一支撑台上；利用所述升降装置驱动所述第二支撑台，通过所述支撑针支撑所述目标基板，并远离所述第一支撑台；利用加热板对所述支撑针加热，并对所述目标基板进行预固化操作；2CN109031725A权利要求书2/2页监测所述支撑针的温度是否超过预定值；其中，当所述支撑针的温度低于预定值时，利用制冷装置对所述支撑针上的所述金属薄膜进行降温处理；当所述支撑针的温度低于预定值时，关闭所述制冷装置。3CN109031725A说明书1/5页配向膜预固化方法及装置技术领域[0001]本发明涉及制造工艺设备，特别涉及一种配向膜预固化方法及装置。背景技术[0002]在现有显示面板行业中，配向膜PI(聚酰亚胺)用于对液晶配向，使液晶在无电压状态时具备一定的预倾角。而在配向工艺中，配向膜的形成需经过涂布-预固化(约100℃)-完全固化(约230℃)等阶段。其中，预固化过程由预固化装置完成，它将PI液中大部分溶剂蒸发并形成较平整的配向膜。预固化装置主要通过支撑针对目标基板进行支撑，而支撑针通过加热装置进行加热，并实现高温预固化过程。[0003]但是，当目标基板进入预固化装置后，预固化装置上支撑针所对应的位置相比未与支撑针接触的区域升温过快，导致PI液挥发过快，进而造成周围