图案化屏蔽结构以及集成电感.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113224036A(43)申请公布日2021.08.06(21)申请号202010505649.4(22)申请日2020.06.05(30)优先权数据62/963,6162020.01.21US(71)申请人瑞昱半导体股份有限公司地址中国台湾新竹市(72)发明人颜孝璁陈家源(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003代理人黄艳郑特强(51)Int.Cl.H01L23/552(2006.01)H01L49/02(2006.01)H01F27/36(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图8页(54)发明名称图案化屏蔽结构以及集成电感(57)摘要一种图案化屏蔽结构以及一种集成电感。图案化屏蔽结构设置于一电感器结构与一基板之间。图案化屏蔽结构包含一屏蔽层。屏蔽层包含一第一主干部以及多个支干部。第一主干部呈T字状。所述多个支干部连接第一主干部。CN113224036ACN113224036A权利要求书1/1页1.一种图案化屏蔽结构，设置于一电感器结构与一基板之间，其中该图案化屏蔽结构包含：一屏蔽层，包含：一第一主干部，呈T字状；以及多个支干部，连接该第一主干部。2.如权利要求1所述的图案化屏蔽结构，其中该第一主干部具有一第一线宽，所述多个支干部的一者具有一第二线宽，且该第一线宽大于该第二线宽。3.如权利要求2所述的图案化屏蔽结构，其中该第一线宽是该第二线宽的两倍以上。4.如权利要求1所述的图案化屏蔽结构，还包含：一第二主干部，呈T字状且连接该第一主干部。5.如权利要求4所述的图案化屏蔽结构，其中该第一主干部包含一第一导电部件以及一第二导电部件，且该第二主干部包含一第三导电部件以及一第四导电部件，其中该第一导电部件以及该第三导电部件朝一第一方向延伸，该第二导电部件以及该第四导电部件朝一第二方向延伸，且该第二方向垂直于该第一方向。6.如权利要求5所述的图案化屏蔽结构，其中该第一导电部件以及该第三导电部件相邻，且该第二导电部件以及该第四导电部件通过一连接部连接。7.如权利要求4所述的图案化屏蔽结构，其中该图案化屏蔽结构包含多个第一主干部以及多个第二主干部，且所述多个第一主干部、所述多个第二主干部、多个第三主干部以及多个连接部共同形成一鱼骨状结构，其中所述多个第三主干部呈长条状。8.如权利要求4所述的图案化屏蔽结构，还包含：一第三主干部，呈T字状；以及一第四主干部，呈T字状，其中该第一主干部、该第二主干部、该第三主干部以及该第四主干部连接，其中该第一主干部、该第二主干部、该第三主干部以及该第四主干部按序相差90度设置。9.如权利要求8所述的图案化屏蔽结构，其中该第二主干部、该第三主干部以及该第四主干部具有一第一线宽，所述多个支干部的一者具有一第二线宽，且该第一线宽大于该第二线宽。10.一种集成电感，包含：一基板；一电感器结构；以及一图案化屏蔽结构，设置于该电感器结构与该基板之间，其中该图案化屏蔽结构包含一屏蔽层，该屏蔽层包含一第一主干部以及多个支干部，该第一主干部呈T字状且连接所述多个支干部。2CN113224036A说明书1/6页图案化屏蔽结构以及集成电感技术领域[0001]本公开中所述实施例内容涉及一种半导体技术，特别涉及一种图案化屏蔽结构以及集成电感。背景技术[0002]随着集成电路技术的发展，集成电路中电子元件的尺寸越来越小。然而，当电子元件的尺寸越来越小，可能会伴随许多负面影响。例如，当电感器运行时，基板所产生的涡电流将会影响到电感器的品质因数值(Q值)。[0003]由此可知见，现有方式仍存在不便与缺陷，而有待改进。为了解决上述问题，相关领域莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来仍未发展出适当的解决方案。发明内容[0004]本公开的一些实施方式涉及一种图案化屏蔽结构。图案化屏蔽结构设置于一电感器结构与一基板之间。图案化屏蔽结构包含一屏蔽层。屏蔽层包含一第一主干部以及多个支干部。第一主干部呈T字状。所述多个支干部连接第一主干部。[0005]本公开的一些实施方式涉及一种集成电感。集成电感包含一基板、一电感器结构以及一图案化屏蔽结构。图案化屏蔽结构设置于电感器结构与基板之间。图案化屏蔽结构包含一屏蔽层。屏蔽层包含一第一主干部以及多个支干部。第一主干部呈T字状且连接所述多个支干部。[0006]综上所述，本公开的图案化屏蔽结构具有更好的屏蔽效果。附图说明[0007]为让本公开的上述和其他目的、特征、优点与实施例能够更明显易懂，附图的说明如下：[0008]图1是依照本公开一些实施例所示出的一集成电感的示意图；[0009]图2是依照本公开一些实施例所示出的一电感器结构的示意图；[0010]图3是依照本公开一些实施例所示出的一图案化屏蔽结构的示意图；[00