一种自动提纯电镀液的过滤装置及其提纯方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115999223A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202310059846.1(22)申请日2023.01.17(71)申请人强一半导体（苏州）股份有限公司地址215000江苏省苏州市工业园区东长路18号39幢(72)发明人于海超李尧尧(74)专利代理机构南京纵横知识产权代理有限公司32224专利代理师董成(51)Int.Cl.B01D29/35(2006.01)B01D29/86(2006.01)B01D29/58(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图13页(54)发明名称一种自动提纯电镀液的过滤装置及其提纯方法(57)摘要本发明涉及自动化加工领域中的一种自动提纯电镀液的过滤装置及其提纯方法；自动提纯电镀液的过滤装置，包括过滤箱本体，以及设置在过滤箱本体上的进料驱动座，进料驱动座上设置有进气口和进液口；进料驱动座内设置有与进气口和进液口对应的预过滤结构；过滤箱本体内设置有与预过滤结构对应的分级过滤部，以及位于分级过滤部下部的用于承接的储液槽。本发明提供了一种自动提纯电镀液的过滤装置及其提纯方法，具有给定正压以及自动旋转辅助多次分级过滤的功能。CN115999223ACN115999223A权利要求书1/2页1.一种自动提纯电镀液的过滤装置，包括过滤箱本体（12），以及设置在所述过滤箱本体（12）上的进料驱动座（11），其特征在于，所述进料驱动座（11）上设置有进气口（132）和进液口（131）；所述进料驱动座（11）内设置有与所述进气口（132）和进液口（131）对应的预过滤结构（3）；所述过滤箱本体（12）内设置有与所述预过滤结构（3）对应的分级过滤部（4），以及位于所述分级过滤部（4）下部的用于承接的储液槽（44）。2.根据权利要求1所述的自动提纯电镀液的过滤装置，其特征在于：所述预过滤结构（3）通过进料驱动座（11）与所述过滤箱本体（12）对接；所述预过滤结构（3）包括嵌设在进料驱动座（11）内的固定环（31），所述固定环（31）上装设有滤网杯（32），所述滤网杯（32）与所述进气口（132）和进液口（131）对接。3.根据权利要求1所述的自动提纯电镀液的过滤装置，其特征在于：所述进料驱动座（11）上设置有伺服电机（2），所述伺服电机（2）上驱动设置的长轴（22）穿设入所述滤网杯（32）后驱动连接有若干个搅拌桨叶（23）。4.根据权利要求1所述的自动提纯电镀液的过滤装置，其特征在于：所述分级过滤部（4）包括若干个纵向叠加排布的过滤槽，所述分级过滤部（4）中位于上层的过滤槽的过滤孔隙大于位于下层过滤槽的过滤孔隙。5.根据权利要求4所述的自动提纯电镀液的过滤装置，其特征在于：所述过滤槽上侧的横切面大于所述过滤槽下侧的横切面。6.根据权利要求4所述的自动提纯电镀液的过滤装置，其特征在于：所述过滤槽的下部的两侧分别设置有若干个轴毂连接的滑动轮（49），且所述过滤箱本体（12）内纵向间隔设置有若干对导轨（142）；所述滑动轮（49）至少部分滑动设置在所述导轨（142）的滑槽中。7.根据权利要求6所述的自动提纯电镀液的过滤装置，其特征在于：每一对导轨（142）相对设置在过滤箱本体（12）内的两侧壁上；且所述导轨（142）上设置有滑槽，且所述滑槽内设置有向上凸起的导条；所述滑动轮（49）至少部分滑动嵌设在所述滑槽内，所述滑动轮（49）的外周上设置有导槽，所述导条能至少部分滑动嵌设入所述导槽中。8.根据权利要求4所述的自动提纯电镀液的过滤装置，其特征在于：所述过滤槽上设置有压力传感器（6）；或/和，所述储液槽（44）上设置有液位感应探头。9.自动提纯电镀液的过滤装置的提纯方法，其特征在于：采用权利要求1~8中任一权利要求所述的自动提纯电镀液的过滤装置实现的提纯方法，包括以下步骤；步骤S1，通过进液口（131）将待过滤的电镀液引入进料驱动座（11）中的预过滤结构（3）的滤网杯（32），经过所述滤网杯（32）粗过滤，利用进气口（132）加入增压气体给定正压；同时通过引入滤网杯（32）内的搅拌桨叶（23）转动搅拌电镀液提升过滤效率；步骤S2,电镀液通过滤网杯（32）后落入过滤箱本体（12）内的分级过滤部（4）进行分级过滤，通过分级过滤部（4）中的过滤槽进行层层过滤；步骤S3，电镀液经过分级过滤部（4）层层过滤后落入分级过滤部（4）下部设置的储液槽（44）。10.根据权利要求9所述的自动提纯电镀液的过滤装置的提纯方法，其特征在于：通过2CN115999223A权利要求书2/2页过滤槽上设置的压力传感器（6）检测过滤槽上网纱（48）的使用状态；通过储液槽（44）上设置的液位感应探头检测液位高度。3CN115999223A说明书1/7页一种自动提纯电镀液