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一种高韧性抗冲蚀涂层及其制备方法.pdf
2023-05-26
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一种高韧性抗冲蚀涂层及其制备方法.pdf
本发明属于材料表面涂层技术领域,且公开了一种高韧性抗冲蚀涂层,所述高韧性抗冲蚀涂层为Ni?Cr?N三元涂层,且Ni元素的原子百分比为2～80%,Cr元素的原子百分比为10～80%,N元素的原子百分比为1～50%。本发明提供的高韧性抗冲蚀涂层的制备方法,选用了元素比例合适的NiCr合金靶以及相应的沉积工艺参数,采用多弧离子镀技术蒸发金属Cr靶和NiCr合金靶,并与真空室中Ar和N<base:Sub>2</base:Sub>混合气体中的N<base:Sub>2</base:Sub>气反应,在基底表面形成了获得
2023-05-16
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2023-05-26
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一种高熵氮化物抗冲蚀涂层及其制备方法与器件.pdf
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2023-05-31
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2023-06-25
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