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本发明提供高精度齿轮的加工方法,能够维持高精度的加工状态并在齿轮的齿面形成平台结构。对在进行了切齿和热处理之后进一步进行精加工,高精度精加工成JISB1702?1:1998的N5级以上的精度且算术平均粗糙度Ra为0.2μm以下的齿轮,进行相对于齿轮的齿面大致垂直地喷射担载有不定形形状的硬质磨粒的弹性研磨材料而在齿面形成微小的凹凸的喷射处理,之后进行对齿面进行研磨、将凹凸的凸部的顶部除去而平坦化的研磨处理,在齿面上形成平台结构的表面,平台结构的表面具有与喷射处理前形成的凹凸的凹部相比开口宽度窄且深度深的凹部即凹槽、以及形成在所述凹槽间的上端被平坦化的凸部,并且将齿面的表面粗糙度和加工精度的降低抑制在规定的范围内。