传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116031189A(43)申请公布日2023.04.28(21)申请号202310302082.4(22)申请日2023.03.27(71)申请人合肥新晶集成电路有限公司地址230012安徽省合肥市新站区综合保税区内西淝河路88号(72)发明人严倩倩曹齐清汪杰徐东东蔡栋煌(74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限公司44224专利代理师袁武(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)权利要求书3页说明书11页附图4页(54)发明名称传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统(57)摘要本发明涉及一种传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统。传送路径规划方法包括：将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各轨道单元的传送参数；基于各轨道单元和各轨道单元的传送参数生成邻接链表，邻接链表包括各轨道单元构成的头节点、各头节点对应的传送参数、与各头节点相连接的轨道单元以及与各头节点相连接的轨道单元的传送参数；基于邻接链表选择天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。本发明的传送路径规划方法可以大大减小循环次数，显著降低内存消耗，从而改善规划效率。CN116031189ACN116031189A权利要求书1/3页1.一种传送路径规划方法，其特征在于，包括：将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各所述轨道单元的传送参数，所述传送参数包括所述轨道单元的长度或所述天车在所述轨道单元上的传送时间；基于各所述轨道单元和各所述轨道单元的传送参数生成邻接链表，所述邻接链表包括各所述轨道单元构成的头节点、各所述头节点对应的传送参数、与各所述头节点相连接的所述轨道单元以及与各所述头节点相连接的所述轨道单元的传送参数；基于所述邻接链表选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。2.根据权利要求1所述的传送路径规划方法，其特征在于，所述邻接链表中，构成各所述头节点的各所述轨道单元位于所述邻接链表的第一列，与所述头节点相连接的所述轨道单元和对应的头节点位于同一行；各所述轨道单元的传送参数均位于对应的所述轨道单元的相邻列。3.根据权利要求2所述的传送路径规划方法，其特征在于，若与同一所述头节点相连接的所述轨道单元的数量为多个，与同一所述头节点相连接的多个所述轨道单元于同一行中按传送参数由小至大的顺序依次排布。4.根据权利要求1至3中任一项所述的传送路径规划方法，其特征在于，所述基于所述邻接链表选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径，包括：于所述邻接链表中选取起始轨道单元对应的头节点作为当前头节点；于所述邻接链表中选取与所述当前头节点相连接的所述轨道单元，将选取的所述轨道单元对应的头节点作为新的当前头节点，并于邻接链表中选取与新的当前头节点相连接的轨道单元；重复上一步骤若干次，直至遍历所有具有连接关系的所述轨道单元，以得到所述天车自起始机台至目标机台的多条传送路径；自多条所述传送路径中，选取所有所述轨道单元的传送参数的加和最小的传送路径作为所述最佳传送路径。5.一种传送路径规划系统，其特征在于，包括：划分获取模块，用于将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各所述轨道单元的传送参数，所述传送参数包括所述轨道单元的长度或所述天车在所述轨道单元上的传送时间；邻接链表生成模块，与所述划分获取模块相连接，用于基于各所述轨道单元和各所述轨道单元的传送参数生成邻接链表，所述邻接链表包括各所述轨道单元构成的头节点、各所述头节点对应的传送参数、与各所述头节点相连接的所述轨道单元以及与各所述头节点相连接的所述轨道单元的传送参数；规划模块，与所述邻接链表生成模块相连接，用于基于所述邻接链表选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。6.根据权利要求5所述的传送路径规划系统，其特征在于，所述邻接链表中，构成各所述头节点的各所述轨道单元位于所述邻接链表的第一列，与所述头节点相连接的所述轨道单元和对应的头节点位于同一行；各所述轨道单元的传送参数均位于对应的所述轨道单元的相邻列。7.根据权利要求6所述的传送路径规划系统，其特征在于，若与同一所述头节点相连接2CN116031189A权利要求书2/3页的所述轨道单元的数量为多个，与同一所述头节点相连接的多个所述轨道单元于同一行中按传送参数由小至大的顺序依次排布。8.一种天车传送方法，其特征在于，包括：采用如权利要求1至4中任一项所述的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径；控制所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台。9.一种天车传送系统，其特征在于，包括：传送轨道；如权利要求5至7中任一项所述的传送路径规划系统；控制单元，与所述传送路径规划系统和所述天车均相连接，