一种半导体测试治具.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116027166A(43)申请公布日2023.04.28(21)申请号202310322824.X(22)申请日2023.03.30(71)申请人广东中科启航技术有限公司地址528225广东省佛山市南海区狮山镇博爱中路40号之一A30厂房(72)发明人杨碧霞孙传碑(74)专利代理机构北京专赢专利代理有限公司11797专利代理师李斌(51)Int.Cl.G01R31/26(2020.01)G01R1/02(2006.01)G01R1/04(2006.01)B65G47/91(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称一种半导体测试治具(57)摘要本发明适用于半导体测试技术领域，提供了一种半导体测试治具，包括：基座、检测探针以及用于放置待检测半导体的支撑台，所述支撑台位于所述基座上；至少一组用于存放半导体的收纳盒，所述收纳盒位于所述基座上，且收纳盒内还开设有容纳槽；用于移动半导体的搬运机构，所述搬运机构包括升降板、移动板、除尘组件以及吸附组件，所述升降板通过升降组件安装于基座上，移动板通过移动块滑动安装于升降板内，且升降板内安装有用于带动移动块运动的移动组件，该发明通过搬运机构的设置，避免了现有治具功能单一，在搬运半导体的过程中无法同时清除灰尘，使得半导体在测试前需要工作人员单独清灰，严重影响测试效率的问题。CN116027166ACN116027166A权利要求书1/1页1.一种半导体测试治具，包括基座、检测探针以及用于放置待检测半导体的支撑台，所述支撑台位于所述基座上，其特征在于，还包括：至少一组用于存放半导体的收纳盒，所述收纳盒位于所述基座上，且收纳盒内还开设有容纳槽；用于移动半导体的搬运机构，所述搬运机构包括升降板、移动板、除尘组件以及吸附组件，所述升降板通过升降组件安装于基座上，移动板通过移动块滑动安装于升降板内，且升降板内安装有用于带动移动块运动的移动组件，所述检测探针固定安装于移动板上，所述吸附组件包括吸附板和吸盘，所述吸附板通过除尘组件安装于移动板上，吸盘在吸附板上设有多组，且吸附板上还安装有用于清理检测点灰尘的清理组件，所述升降板上还安装有用于控制清理组件工作状态的控制组件。2.根据权利要求1所述的半导体测试治具，其特征在于，所述收纳盒在基座上设置有两组，且两组收纳盒内均设置有支撑组件。3.根据权利要求2所述的半导体测试治具，其特征在于，所述支撑组件包括放置板和第二弹簧，所述放置板通过第二弹簧滑动安装于收纳盒内。4.根据权利要求1所述的半导体测试治具，其特征在于，所述除尘组件包括：至少一组支撑板，所述支撑板固定安装于移动板上；第二滑板和第一滑板，所述支撑板与第二滑板之间以及第二滑板与第一滑板之间均通过活塞组件连接，且第二滑板与第一滑板内均设有导气槽；以及至少一组喷嘴，所述喷嘴与第一滑板内的导气槽相连通。5.根据权利要求4所述的半导体测试治具，其特征在于，用于第二滑板与第一滑板之间连接的活塞组件包括按压板和第三弹簧，所述第二滑板通过按压板滑动安装于第一滑板内，第三弹簧用于实现对按压板的弹性支撑。6.根据权利要求4所述的半导体测试治具，其特征在于，所述喷嘴倾斜安装于第一滑板上。7.根据权利要求4所述的半导体测试治具，其特征在于，所述除尘组件还包括喷气板和导管，所述喷气板固定安装于检测探针的底座上，且喷气板上设置有多组喷头，所述导管一端与喷气板相连通，导管另一端与第二滑板的导气槽相连通。8.根据权利要求1所述的半导体测试治具，其特征在于，所述清理组件包括：清理辊，所述清理辊通过转轴滑动安装于吸附板上，且转轴能够在吸附板上转动；以及导轮，所述导轮固定安装于转轴上，且导轮与吸附板相切。9.根据权利要求8所述的半导体测试治具，其特征在于，所述控制组件包括：滑块，所述滑块通过导向杆滑动安装于升降板上，且导向杆与升降板之间通过立板连接；第一弹簧，所述第一弹簧套设于导向杆上，用于所述滑块与立板之间的连接；以及联动杆，所述联动杆一端与滑块固定连接，联动杆另一端与转轴转动连接。10.根据权利要求1所述的半导体测试治具，其特征在于，所述升降组件包括螺纹杆和驱动电机，所述螺纹杆转动安装于基座上，且螺纹杆至少安装有一组，多组螺纹杆之间通过传动件连接，所述螺纹杆与所述升降板之间螺纹连接，所述驱动电机安装于基座内，且驱动电机的输出端与其中一组螺纹杆相连接。2CN116027166A说明书1/5页一种半导体测试治具技术领域[0001]本发明涉及半导体测试技术领域，具体是一种半导体测试治具。背景技术[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，其在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明以及大功率电源转换等领域都有应用，半导体芯片指在半导体片