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氮化物压电体和使用该氮化物压电体的MEMS器件.pdf

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本发明的课题是提供与未添加任何元素的氮化铝相比具有更高的性能指数(d33、g33和K2中的至少任意1个)的值的氮化物压电体和使用该氮化物压电体的MEMS器件。本发明的解决方法是一种压电体,其由化学式Al1?X?YMgXTaYN表示,其中,X+Y小于1,并且X处于大于0且小于1的范围,Y处于大于0且小于1的范围,Ta包含4价的Ta。