一种晶圆盒在线分类装置.pdf

本实用新型公开了一种晶圆盒在线分类装置,所述分类装置包括底座及载台,所述分类装置还包括多组定位销、设置在所述载台上的若干个种类检测开关,所述晶圆盒的底部设置有若干个种类识别孔,所述种类识别孔为通孔或者盲孔,所有的所述种类检测开关与所有的所述种类识别孔的位置一一对应地设置,种类检测开关与种类识别孔对应配合来检测各个种类识别孔的种类,从而能够快速地获知晶圆盒的种类而将晶圆盒分类。该分类装置能够在晶圆盒生产线传输的过程中实现在线的种类检测,操作方便,分类效率大幅提高,有效地提升了晶圆的整体加工效率、降低了成本。