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有机膜形成用材料、有机膜的形成方法、图案形成方法、以及有机膜形成用化合物.pdf
2023-05-24
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玉军****la
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本发明涉及有机膜形成用材料、有机膜的形成方法、图案形成方法、以及有机膜形成用化合物。本发明的课题提供不仅在空气中会硬化,在钝性气体中的成膜条件下也会硬化,可形成耐热性、于基板所形成的图案的填埋、平坦化特性优异,而且对于基板的成膜性、密接性良好的有机下层膜的酰亚胺化合物、及含有该化合物的有机膜形成用材料。一种有机膜形成用材料,含有:(A)下列通式(1A)表示的有机膜形成用化合物;及(B)有机溶剂。[化1]<base:Imagehe=@175@wi=@1000@file=@DDA000329063825000
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本发明涉及有机膜形成材料、以及图案形成方法及聚合物。本发明的课题是为了提供不损及树脂本身的碳含量且可展现高蚀刻耐性、优良的扭曲耐性的有机膜形成材料,以及提供使用了该有机膜形成材料的图案形成方法、及适于如此的有机膜形成材料的聚合物。该课题的解决手段为一种有机膜形成材料,其特征为含有:(A)具有下述通式(1)表示的重复单元的聚合物,及(B)有机溶剂;<base:Imagehe=@372@wi=@1000@file=@DDA0003432906090000011.JPG@imgContent=@drawing@
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本发明涉及有机膜形成材料、图案形成方法以及化合物及聚合物。本发明的课题为提供有机膜形成材料和适于有机膜形成材料的化合物及聚合物。该课题提供一种有机膜形成材料,其含有:(A)下式(1)表示的化合物及/或具有下式(4)表示的重复单元的聚合物及(B)有机溶剂;<base:Imagehe=@533@wi=@840@file=@DDA0003428758240000011.JPG@imgContent=@drawing@imgFormat=@JPEG@orientation=@portrait@inline=@ye
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