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有机膜形成材料、图案形成方法以及化合物及聚合物.pdf
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小凌****甜蜜
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本发明涉及有机膜形成材料、图案形成方法以及化合物及聚合物。本发明的课题为提供有机膜形成材料和适于有机膜形成材料的化合物及聚合物。该课题提供一种有机膜形成材料,其含有:(A)下式(1)表示的化合物及/或具有下式(4)表示的重复单元的聚合物及(B)有机溶剂;<base:Imagehe=@533@wi=@840@file=@DDA0003428758240000011.JPG@imgContent=@drawing@imgFormat=@JPEG@orientation=@portrait@inline=@ye
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