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本发明公开了一种低介电常数硅酸盐微波介质陶瓷及其制备方法,该陶瓷的化学表达式为Ca1?x?y/2AxMg1?y/2BySi3O9?zBa5Si8O21,其中A=Sr、Ba;B=Zn、Co、Mn;0.02≤x≤0.10;0.10≤y≤0.50;0.30≤z≤0.50。该陶瓷材料制备工艺依次如下:合成Ca1?x?y/2AxMg1?y/2BySi3O9粉体、合成Ba5Si8O21粉体、复合粉末配制、球磨、DCS快速烧结成瓷。本发明一方面通过微量Sr离子取代提高CaMgSi3O9晶相的Qf值,另一方面通过Zn或Co获Mn离子共取代A、B位调控CaMgSi3O9结构的层状结构,进而调控其Qf值和τf值。此外,本发明制备所得Ca1?x?y/2AxMg1?y/2BySi3O9?zBa5Si8O21陶瓷材料的介电常数为5.5~8.2,Qf值为28500~76450GHz,τf值在±15ppm/℃以内,且制备工艺简单,制备周期短,工艺稳定好,抗还原特性好,可耐还原气氛烧结而使用贱金属内电极,适合制造温度补偿型MLCC电容器。