预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/7
2/7
3/7
4/7
5/7
6/7
7/7

在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

本实用新型公开了一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统,属于光刻胶技术领域,管路包括依次连接的氮气管(1)、光阻瓶(2)、回流瓶(3)和光阻喷头(4),氮气管(1)连接在光阻瓶(2)上,光阻瓶(2)通过第一管道(5)与回流瓶(3)连接,回流瓶(3)通过第二管道(6)与光阻喷头(4)连接,第二管道(6)上设有回吸阀(7),回吸阀(7)上连接有压缩空气阀(8),氮气管(1)上设有氮气阀(11),回流瓶(3)上设有排气管(9),排气管(9)上设有排气阀(91),该管路利用氮气加压实现自动喷涂,通过回吸组件确保喷胶时不产生气泡和胶滴落;系统实现全自动涂胶,提高工作效率,既能保证涂胶的均匀性又能节省材料。