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垂直腔面发射激光器制造方法及垂直腔面发射激光器.pdf
2023-05-24
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书生****ma
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本发明公开了一种垂直腔面发射激光器制造方法,包括:形成主动区平台的步骤;以及对所形成的主动区平台进行侧壁氧化以形成氧化孔的步骤;在上述两个步骤之间还包括:为主动区平台侧壁表面覆盖水汽透过率为1×10<base:Sup>0</base:Sup>～5×10<base:Sup>?2</base:Sup>g/(m<base:Sup>2</base:Sup>·D)的保护膜的步骤。本发明还公开了一种垂直腔面发射激光器,使用上述制造方法得到。相比现有技术,本发明可使得主动区平台的侧壁氧化过程均匀一致,从而提高产品的良率
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