预览加载中，请您耐心等待几秒...

芯片失效点定位方法、装置及系统.pdf

预览
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲，该文档总共19页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～

下载提示 文本预览

如果您无法下载资料，请参考说明：

1、部分资料下载需要金币，请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档，再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压，在使用对应软件打开

本申请涉及一种芯片失效点定位方法、装置及系统,芯片失效点定位方法包括获取芯片通电后发射的光信号;对光信号进行分离,输出多个特定波段的光辐射图像;将多个特定波段的光辐射图像与预置良品芯片结构形貌图比较以确定芯片失效点的波长信息。本申请可以实现对半导体芯片失效点波长的探测分析,在分析过程不会对芯片引入新的失效,提高了对半导体芯片失效分析的效率及准确性,可广泛适用于芯片设计、生产的测试环节,售后问题反馈等环节。