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一种器件失效点的定位系统及方法.pdf

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本发明公开了一种器件失效点的定位系统及方法,该方法包括:开封装置,用于对待进行失效点定位的器件进行开封,以得到开封后的样品器件;偏置电源,用于对开封后的样品器件施加偏置电压;位置确定装置,用于在对开封后的样品器件施加偏置电压的情况下,对已施加偏置电压的样品器件的失效点的位置进行确定;位置显示装置,用于在已确定样品器件的失效点的位置的情况下,对已确定的器件的失效点的位置进行显示。本发明的方案,可以解决对失效器件的失效点进行定位的难度较大的问题,达到降低对失效器件的失效点进行定位的难度的效果。