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本实用新型涉及一种薄膜翘曲检测装置,包括水平刻度尺(1)、垂直刻度尺(2)、间隙尺(3)、卡槽A(4)、卡扣A(6)、卡槽B(5)和卡扣B(7);水平刻度尺(1)与垂直刻度尺(2)垂直相交于水平刻度尺(1)的一条短边,水平刻度尺(1)与间隙尺(3)垂直相交于水平刻度尺(1)的一条长边;卡扣A(6)一端放置在水平刻度尺(1)上,另一端紧扣在卡槽A(4)上;卡扣B(7)一端固定在水平刻度尺(1)上,另一端扣在卡槽B(5)上。本实用新型采用尺组合人工读数,构造简单,成本极低易获取,可以测试翘曲的高度、翘曲数量、翘曲宽度、具体位置等,能够尽可能详细地评价翘曲情况,应用前景较好。