一种基板翘曲量的测量装置及方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106247967A(43)申请公布日2016.12.21(21)申请号201610687178.7(22)申请日2016.08.18(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人合肥鑫晟光电科技有限公司(72)发明人蒋学兵(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司11002代理人李相雨(51)Int.Cl.G01B11/16(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图3页(54)发明名称一种基板翘曲量的测量装置及方法(57)摘要本发明提供了一种基板翘曲量的测量装置及方法，用于测量显示母板的基板翘曲量，所述显示母板包括相对而置的第一基板和第二基板，所述测量装置包括：光源、测量目镜及处理器；所述光源，用于向所述显示母板的待测量区域发射单色光，形成牛顿环干涉图案；所述测量目镜，用于采集所述牛顿环干涉图案，并测量出所述牛顿环干涉图案中每条干涉条纹的直径及对应的级数；所述处理器，与所述测量目镜连接，用于根据每条干涉条纹的直径、对应的级数及所述单色光的波长，得到每条干涉条纹处的空气层厚度，以获得所述显示母板的待测量区域的翘曲量。本发明能够判定显示区域边缘处的发黄程度，进而在制程中对局部发黄进行监控，避免资材浪费。CN106247967ACN106247967A权利要求书1/2页1.一种基板翘曲量的测量装置，用于测量显示母板的基板翘曲量，所述显示母板包括相对而置的第一基板和第二基板，其特征在于，所述测量装置包括：光源、测量目镜及处理器；所述光源，用于向所述显示母板的待测量区域发射单色光，在所述待测量区域的基板翘曲位置形成牛顿环干涉图案；所述测量目镜，用于采集所述牛顿环干涉图案，并测量出所述牛顿环干涉图案中每条干涉条纹的直径及对应的级数；所述处理器，与所述测量目镜连接，用于根据每条干涉条纹的直径、对应的级数及所述单色光的波长，得到每条干涉条纹处的空气层厚度，以获得所述显示母板的待测量区域的翘曲量；其中，所述显示母板的待测量区域包括：水平的第二基板和向所述第二基板凹陷呈曲面的第一基板。2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述处理器，还用于：根据每条干涉条纹处的空气层厚度以及预设盒厚，获得与所述牛顿环干涉图案临近的显示面板的显示区域边缘处的盒厚；根据所述显示区域边缘的盒厚，判定所述显示区域边缘处的发黄程度。3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述处理器，具体用于：根据每条干涉条纹的直径、对应的级数及所述单色光的波长，采用公式一得到每条干涉条纹处的空气层厚度：其中，n、m均表示干涉条纹的级数，且n>m，dn为第n级干涉条纹处的空气层厚度，Dn为第n级干涉条纹的直径，Dm为第m级干涉条纹的直径，λ为所述单色光的波长。4.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述处理器，具体用于：根据每条干涉条纹处的空气层厚度，以及预设盒厚，采用公式二得到与所述牛顿环干涉图案临近的显示区域边缘处的盒厚：d1n-d＝d-dn公式二其中，d1n为显示区域边缘处的盒厚，d为预设盒厚，dn为干涉条纹处的空气层的厚度；dn至显示区域与非显示区域分界处的第一封框胶的距离与d1n至所述第一封框胶的距离相等。5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，所述处理器，还用于：根据所述d1n-d的值，判定d1n对应的所述显示区域边缘处的发黄程度。6.一种基板翘曲量的测量方法，其特征在于，包括：光源向显示母板的待测量区域发射单色光，在所述待测量区域的基板翘曲位置形成牛顿环干涉图案；测量目镜采集所述牛顿环干涉图案，并测量出所述牛顿环干涉图案中每条干涉条纹的直径及对应的级数；处理器根据每条干涉条纹的直径、对应的级数及所述单色光的波长，得到每条干涉条纹处的空气层厚度，以获得所述显示面板的待测量区域的翘曲量；2CN106247967A权利要求书2/2页其中，所述显示母板的待测区域包括：水平的第二基板和向所述第二基板凹陷呈曲面的第一基板。7.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于，所述光源向显示母板的待测量区域发射单色光，在所述待测量区域的基板翘曲位置形成牛顿环干涉图案，包括：所述光源向显示母板的待测量区域发射垂直于所述第二基板的多束单色光，在所述待测量区域的基板翘曲位置形成牛顿环干涉图案。8.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于，所述方法还包括：所述处理器根据每条干涉条纹处的空气层厚度以及预设盒厚，获得与所述牛顿环干涉图案临近的显示面板的显示区域边缘处的盒厚；所述处理器根据所述显示区域边缘的盒厚，判定所述显示区域边缘处的发黄程度。9.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于，所述根据每条干涉条纹的直径、对应的级数及所述单色光的波长，得到每条