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本发明涉及透明导电性薄膜,透明导电性薄膜(1)依次具备玻璃基材(2)和透明导电层(3)。玻璃基材(2)的厚度为150μm以下。透明导电层(3)为结晶性。透明导电层(3)的残余应力不足?100MPa或超过100MPa。