深紫外LED封装技术及其应用研究.doc
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深紫外LED封装技术及其应用研究.doc
深紫外LED封装技术及其应用研究由于深紫外LED(DUV-LED)结构和波长的特殊性,其对封装材料的要求非常严格,不能使用有机材料。本文针对深紫外LED封装技术开展研究,解决目前深紫外LED封装的一些技术难题,提出了一种深紫外LED封装结构和工艺,并对深紫外LED器件应用做了初步研究。主要研究内容包括:1)深紫外LED器件封装设计:针对深紫外LED封装特殊性,提出采用全无机材料实现封装:采用石英玻璃作为透光盖板;采用含腔体结构的三维陶瓷基板作为封装基板;采用金属焊料键合石英玻璃与陶瓷基板,实现气密封装。2
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