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感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法.pdf
2023-05-21
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提供感光性树脂组合物,其包含:(A)包含由下述式(A1)表示的重复单元、和选自由下述式(A2)表示的重复单元及由下述式(A3)表示的重复单元中的至少1种的聚合物、(B)在1分子中平均包含4个以上的环氧基的环氧化合物、(C)光致产酸剂、(D)苯并三唑化合物和/或咪唑化合物、和(E)有机溶剂。<base:Imagehe=@609@wi=@1000@file=@DDA0003605058460000011.JPG@imgContent=@drawing@imgFormat=@JPEG@orientation=@
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本发明提供一种在图案形成中难以产生底切的负型感光性树脂组合物以及图案形成方法。采用含有含环氧基化合物、光阳离子聚合引发剂、具有以通式(ahs1)表示的结构单元的树脂的负型感光性树脂组合物。含环氧基化合物包含酚醛清漆型环氧树脂。光阳离子聚合引发剂包含鎓硼酸盐。通式(ahs1)中,R为氢原子、碳原子数为1～5的烷基或者碳原子数为1～5的卤代烷基。Ya<base:Sup>X1</base:Sup>为单键或者2价的连接基团。Wa<base:Sup>x1</base:Sup>为可具有取代基的芳香族烃基。n<base
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