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垂直腔面发射激光器阵列及一种光源.pdf

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本发明公开了一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列,属于半导体激光器技术领域。本发明VCSEL阵列包括由并联且均匀分布的一组主VCSEL单元所构成的M×N的VCSEL主阵列;在所述VCSEL主阵列中由坐标为(i,j)、(i,j+1)、(i+1,j)、(i+1,j+1)的四个主VCSEL单元所围成矩形区域中的同一位置处分别设置有一个相同的辅助VCSEL单元,i=1,2,3,…,M?1,j=1,2,3,…,N?1,所述辅助VCSEL单元的光功率小于主VCSEL单元光功率且所有辅助VCSEL单元均与VCSEL主阵列并联。本发明还公开了一种光源。相比现有技术,本发明可大幅改善VCSEL阵列的温度分布和出光均匀性,无需复杂的电路连接及控制逻辑,且对现有生产制程的改变较少,实现成本较低。