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试样支承体及试样支承体的制造方法.pdf

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本发明的试样支承体具备:具有形成有多个贯通孔的测量区域的绝缘性的基板;框架,在该框架以与测量区域对应的方式形成了在第1面和第2面开口的开口部,该框架以在从基板的厚度方向观察时开口部与测量区域重叠的方式形成在第1表面上;粘接基板和框架的、具有相比于开口部的内表面更向测量区域侧突出的突出部的粘接层;和导电层,其具有:沿开口部的内表面设置的第1部分;沿测量区域的第1表面设置的第2部分;和以连接第1部分和第2部分的方式沿突出部的表面设置的第3部分。