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半导体元件及其制造方法、以及半导体装置及其制造方法.pdf
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增梅****主啊
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提供一种半导体元件的制造方法等,该由Ga<base:Sub>2</base:Sub>O<base:Sub>3</base:Sub>系半导体构成的半导体元件的制造方法,能够从1个晶片在抑制划片时的破损的同时得到具有散热性优异的结构的多个半导体元件。提供一种半导体元件的制造方法,其包含:准备包括Ga<base:Sub>2</base:Sub>O<base:Sub>3</base:Sub>系半导体的半导体晶片(10)的工序;将半导体晶片(10)的外延层(12)侧固定到支撑基板(21)的工序;将半导体晶片(10)
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