单晶炉热场结构.ppt
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单晶炉热场结构.ppt
内容热场的优劣对单晶硅的质量有很大影响。合适的热场,能够生长出高质量的单晶。不好的热场容易使单晶变成多晶,或者根本无法引晶。有的热场虽然能够生长单晶,但质量较差,有位错和其它结构缺陷。因此,找到较好的热场条件,配置最佳的热场,是非常重要的直拉单晶工艺技术。热场有大有小,它是按照所用的石英坩埚的直径大小来划分的,目前国内热场从¢12″~¢28″都有,但以¢18″~¢22″居多。一、热场结构热场示意图加热器加热器石墨电极石墨坩埚、坩埚托杆和坩埚托盘坩埚托杆、坩埚托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合牢
单晶炉热场结构.ppt
培训对象:硅单晶制取工培训讲师:詹文平硅单晶分厂内容热场的优劣对单晶硅的质量有很大影响。合适的热场,能够生长出高质量的单晶。不好的热场容易使单晶变成多晶,或者根本无法引晶。有的热场虽然能够生长单晶,但质量较差,有位错和其它结构缺陷。因此,找到较好的热场条件,配置最佳的热场,是非常重要的直拉单晶工艺技术。热场有大有小,它是按照所用的石英坩埚的直径大小来划分的,目前国内热场从¢12″~¢28″都有,但以¢18″~¢22″居多。一、热场结构热场示意图加热器加热器石墨电极石墨坩埚、坩埚托杆和坩埚托盘坩埚托杆、坩埚
单晶炉的热场结构以及单晶炉.pdf
本发明公开了单晶炉的热场结构和单晶炉,其中,单晶炉的热场结构包括:石墨承盘;碳碳坩埚,所述碳碳坩埚设置在所述石墨承盘上;保护部件,所述保护部件设置在所述碳碳坩埚底表面和/或部分侧面上,且适于防止碳碳坩埚受SiOx侵蚀。由此,通过在碳碳坩埚200底表面和/或部分侧面上设置保护部件300,不仅可以对碳碳坩埚200的底表面进行保护,减少碳碳坩埚200上裸露在外碳碳复合材受到SiOx的侵蚀破坏,延长碳碳坩埚的使用寿命,减少更换次数,还可以达到填充石墨承盘100与碳碳坩埚200之间缝隙的效果,进而对石墨承盘100也
单晶炉热场.pdf
本发明公开了一种单晶炉热场,包括支撑筒,所述支撑筒内设置有加热器、电极及坩埚,所述加热器围绕坩埚设置,所述电极与所述加热器电连接;其特征在于,所述支撑筒包括外筒和内筒,所述外筒与内筒之间具有间隙,所述外筒与内筒之间的间隙内设置有保温衬筒,所述保温衬筒围绕所述加热器及坩埚设置。本发明中的单晶炉热场,既降低了能耗,又降低了晶棒中的铁含量。能耗降低45%,仅为原来的55%。晶棒每立方厘米铁离子平均含量达到3.02E+10;边缘部分铁离子含量达到1.22E+11,均比使用现有单晶炉热场拉制的晶棒少一个数量级。
一种单晶炉热场结构.pdf
本发明实施例公开了一种单晶炉热场结构,所述单晶炉侧壁上部的保温层厚度为60毫米至200毫米;所述单晶炉的炉底保温层厚度为100毫米至400毫米。本实施例提供的单晶炉热场结构通过增加侧壁和炉底保温层的厚度,相对比于现有技术中的单晶炉热场结构,可以减少单晶拉制过程中的热量散失,从而能够降低能耗,该方案无需改动成本昂贵的热屏,可以在保证晶体质量和生产效率的前提下,可以降低单晶炉功率5%至20%,因此能够有效的降低单晶拉制成本。